1100°C 双温区立式开启型管式炉（配4英寸石英管及真空密封法兰）

产品概述

这款高性能立式开启型管式炉专为需要极高精度和易操作性的先进热处理工艺而设计。通过将双温区独立温度控制与立式铰链开启结构相结合，该设备可无缝集成到复杂的实验装置中，包括物理气相沉积 (PVD)、近距升华 (CSS) 和化学气相沉积 (CVD)。对于需要在不影响大气完整性或真空度的情况下进行快速加热和淬火循环的材料科学家和工业研究人员，该系统提供了一个多功能的平台。其立式结构专为辅助重力工艺和垂直样品定位而设计，这对于特殊的涂层技术和淬火方法至关重要。

该设备的核心价值在于其能够在四英寸高纯度石英工艺腔体内保持严格受控的环境。对于使用预组装实验配置或易碎陶瓷组件的用户来说，分体式外壳设计具有显著优势，因为它允许加热腔体沿纵向打开，从而便于管材插入和样品取出。这种效率降低了实验间的停机时间，并最大限度地减少了对反应管造成损坏的风险。该设备面向材料科学、半导体和可再生能源行业，为合成高纯度纳米管、薄膜和特殊催化剂提供了稳健的解决方案。

该系统专为严苛的 24/7 工业研发而打造，安装在重型移动推车上，确保了实验室空间内的灵活性。该系统的可靠性得益于高级隔热材料和高精度 PID 控制器，可保持卓越的热稳定性。无论是用于氮掺杂碳的结构排序，还是真空下的高温钎焊，该装置都能在最严苛的热条件下提供一致、可重复的结果。对于专注于扩大材料合成规模或以工业级精度完善热处理方案的设施而言，该设备是一项关键投资。

主要特点

• 双温区独立控制： 该系统具有两个独立的加热区，每个加热区均由 3KW 有源元件供电。独立的温度控制器允许用户建立不同的热梯度，或在总共 400mm 的加热长度上创建一个宽阔、均匀的等温区，为复杂的气相沉积提供了无与伦比的灵活性。
• 铰链式开启设计： 炉体采用高质量铰链机构制造，允许整个加热腔体沿纵向打开。这一工程选择便于快速接触工艺管，实现快速冷却，并允许在不拆卸整个真空管路的情况下轻松设置内部坩埚或监控设备。
• 精确的大气和真空完整性： 该炉配备不锈钢真空法兰和高温 O 型圈，可保持高纯度环境。包含氧化铝涂层泡沫陶瓷块可保护真空密封件免受热辐射，确保即使在最高温度下，泄漏率仍保持在每分钟 5 mTorr 以下。
• 先进的安全与热管理： 带有集成气流冷却的双层钢结构使外壳温度保持在 65°C 以下。这一安全功能保护了实验室人员，并防止环境温度波动在高温运行期间影响附近敏感设备。
• 高纯度氧化铝隔热层： 内部腔体内衬优质纤维氧化铝隔热层，并增强了特殊表面涂层。这通过将热量反射回处理区来最大限度地提高能效，同时确保加热元件免受化学蒸汽的侵蚀，延长了装置的使用寿命。
• 可编程 PID 仪表： 对于复杂的热循环，系统采用 MET 认证控制器，提供 30 个可编程段。用户可以精确定义加热速率、停留时间和冷却斜率，内置的 PID 自整定功能确保整个过程的精度达到 ±1°C。
• 工业级移动性： 整个炉体组件集成在一个重型加固移动工作站中。这使得高温装置可以在设施内轻松重新定位，或安全地停靠在专门的气体输送站，使其成为多用户共享实验室环境的理想选择。
• 双重淬火能力： 立式配置支持传统的线切割自由落体淬火和先进的电磁释放淬火。这使研究人员能够将材料的高温相快速冷冻到气体或液体介质中，从而为材料相变提供关键见解。

应用领域

技术规格

为什么选择 TU-C07

• 卓越的热效率： 真空成型氧化铝纤维与特殊涂层的结合，确保热量保留在工艺腔体内，降低了能源成本并提高了加热斜率的一致性。
• 专为研究设计的精密工程： 凭借双温区独立控制和 MET 认证的 PID 仪表，该系统提供了开发可重复 CVD 和 PVD 配方所需的细粒度控制。
• 安全第一的设计理念： 从风冷双壳外壳到超温保护和辐射屏蔽陶瓷块，该装置专为专业实验室的安全、无人值守运行而设计。
• 灵活的应用架构： 其立式开启管式设计不仅是一个炉子，更是一个用于淬火、钎焊和大气合成的多功能工作站，能够适应动态研发环境不断变化的需求。
• 长期运行耐用性： 该系统采用高合金加热元件和优质石英组件制造，旨在承受高温循环的严苛考验，同时保持其结构和真空完整性。

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