1200°C 双温区开启式管式炉,配熔融石英管及真空法兰,提供 60mm、80mm 和 100mm 直径可选

管式炉

1200°C 双温区开启式管式炉,配熔融石英管及真空法兰,提供 60mm、80mm 和 100mm 直径可选

货号: TU-30

最高温度: 1200°C 加热区配置: 双区(每个196mm) 温度精度: ±1°C
品质保证 Fast Delivery Global Support
获取报价

运输: 联系我们 获取运输详情 享受 准时发货保证.

产品概述

Product image 3

Product image 4

Product image 1

Product image 4

这款高性能开启式管式热处理系统代表了材料科学和工业研发实验室的工程巅峰。通过将双温区加热配置与开启式铰链机箱相结合,该设备使研究人员能够实现高达 1200°C 的快速升温速率,同时保持创建精确热梯度的灵活性。该装置的核心价值在于其能够管理两个不同温区的独立温度曲线,这对于复杂的化学气相沉积 (CVD) 工艺和高纯度材料合成至关重要。无论是用于纳米线的生长还是先进陶瓷的煅烧,该系统都能提供可重复科学结果所需的稳定性和控制力。

该设备专为半导体研究、冶金和纳米技术中的多功能应用而设计。通过使用高纯度熔融石英工艺管和精密的真空密封组件,该系统为受控气氛或真空条件下的热处理提供了原始环境。目标受众包括学术研究人员和工业工程师,他们需要一种可靠、易于装载且不牺牲热均匀性的炉子。工业级制造质量确保该装置可在 1100°C 下连续运行,使其成为对正常运行时间和精度要求极高的实验室环境中的可靠主力。

先进的微处理器控制系统和坚固的结构设计为该系统的可靠性提供了保障。双层钢制外壳与高纯度纤维氧化铝绝缘材料的结合,在最大限度地提高能源效率的同时,确保了外表面触碰安全。从掺钼的铁铬铝合金加热元件到精密加工的不锈钢法兰,每个组件的选择都基于其承受高温循环严苛环境的能力。这不仅仅是一台炉子,更是一个全面的热处理解决方案,旨在通过一致的高精度性能支持下一代材料的突破。

主要特点

  • 双温区独立温度控制:系统具有两个独立控制的加热区,每个加热区都配备了专用的热电偶和 PID 控制器。通过同步设定点,可以创建陡峭的热梯度或延长的恒温区,为 CVD 和气相传输实验提供无与伦比的灵活性。
  • 精密微处理器 PID 调节:两个数字控制器分别管理加热过程,每个控制器具有 30 个可编程段。这允许对升温速率、降温速率和保温时间进行细致控制,并利用自整定功能防止温度过冲,确保 ±1°C 的稳定性。
  • 优化的开启式机箱工程:炉体设计有铰链式开启机构,可快速接触石英管和样品区域。与传统的整体式管式炉相比,这种设计便于安装管子、装载样品并缩短冷却时间。
  • 先进的真空密封组件:每台设备标配一对 304 不锈钢真空法兰,配有双高温硅胶 O 型圈。组件包括针阀、压力表和 KF25 接口,使用机械泵可达到 10^-2 托的真空度,使用分子泵系统可达到 10^-5 托。
  • 高效隔热:设备采用节能的高纯度纤维氧化铝内衬和特殊的 Al2O3 涂层,最大限度地减少热量损失并延长内部组件的使用寿命。这种隔热性能确保了快速升温时间和在长保温周期内优异的蓄热能力。
  • 增强的安全和冷却系统:双层钢制外壳设计集成了两个高速冷却风扇,以保持较低的表面温度。集成的安全协议包括超温保护、热电偶断路保护和无人值守操作的声光报警。
  • 多样的工艺管选择:系统支持外径为 60mm、80mm 或 100mm 的熔融石英管。这种多功能性使实验室能够扩展其处理能力或适应不同的样品尺寸,而无需投资购买完全独立的炉子系统。
  • 高性能加热元件:加热元件由掺钼的特殊铁铬铝合金制成,因其抗氧化能力以及在接近 1200°C 的温度下保持机械完整性的能力而被特别选用。
  • 数字连接和数据记录:标配 RS485 通信端口,支持通过 PC 操作。通过可选的软件模块,用户可以远程编辑曲线、记录实时数据并管理热处理配方,从而获得更好的审计追踪和研究文档。
  • 稳健的气氛控制:陶瓷隔热块和高质量密封组件的加入,使炉子能够在真空或低压(<0.2 bar)惰性气体环境(如氮气或氩气)下运行,确保高纯度处理。

应用领域

应用 描述 主要优势
CVD 纳米材料合成 通过化学气相沉积制备碳纳米管、石墨烯和其他二维材料。 精确的热梯度控制,实现高效的前驱体传输和沉积。
半导体退火 对硅片和化合物半导体材料进行热处理以改变电学性能。 高度均匀的温度分布和快速冷却能力。
薄膜沉积 通过气相传输或蒸发技术生长高纯度薄膜。 受控的真空环境可防止生长过程中的氧化和污染。
陶瓷烧结 对工业陶瓷和压电材料进行高温处理以达到致密化。 可编程的升温/保温段允许特定的烧结曲线以防止开裂。
热梯度测试 使材料样品承受温差以观察相变或稳定性。 双温区独立控制允许可重复且稳定的热梯度。
煅烧工艺 材料的热分解以去除挥发性成分或诱导化学变化。 出色的气氛控制和节能运行,适合长时间保温。
冶金研发 在各种热条件下测试合金样品,研究晶粒生长和机械性能。 坚固的加热元件和耐用的石英管可承受剧烈的循环。
电池材料研究 合成和测试锂离子电池及固态电池的正负极材料。 高纯度氧化铝内衬确保热处理过程中无金属污染。

技术规格

特性 TU-30-60 TU-30-80 TU-30-100
最高温度 1200°C (< 1 小时) 1200°C (< 1 小时) 1200°C (< 1 小时)
连续工作温度 100°C ~ 1100°C 100°C ~ 1100°C 100°C ~ 1100°C
加热区长度 双温区:每区 196mm(总计 432mm) 双温区:每区 196mm(总计 432mm) 双温区:每区 196mm(总计 432mm)
恒温区 每区 150mm (±1°C) 每区 150mm (±1°C) 每区 150mm (±1°C)
石英管尺寸 60mm 外径 x 1000mm 长 80mm 外径 x 1000mm 长 100mm 外径 x 1000mm 长
最大升温速率 ≤ 20°C / 分钟 ≤ 20°C / 分钟 ≤ 20°C / 分钟
温度精度 ±1°C ±1°C ±1°C
加热元件 掺钼铁铬铝合金 掺钼铁铬铝合金 掺钼铁铬铝合金
功率 3 KW 3 KW 3 KW
电压 AC 208-240V,单相 AC 208-240V,单相 AC 208-240V,单相
法兰类型 SS 304 真空法兰 (60mm) SS 304 真空法兰 (80mm) SS 304 真空法兰 (100mm)
真空度 10^-2 托 (机械泵) / 10^-5 (分子泵) 10^-2 托 (机械泵) / 10^-5 (分子泵) 10^-2 托 (机械泵) / 10^-5 (分子泵)
热电偶 两个 K 型 (TCK8S3B) 两个 K 型 (TCK8S3B) 两个 K 型 (TCK8S3B)
温度控制器 双 30 段可编程 双 30 段可编程 双 30 段可编程
合规性 CE 认证 CE 认证 CE 认证
尺寸 (长x宽x高) 标准台式 标准台式 标准台式

为什么选择 1200°C 双温区开启式管式炉

  • 久经考验的长期可靠性:该系统采用掺钼合金加热元件和高纯度纤维氧化铝等优质组件构建,专为在严苛的研发环境中多年持续使用而设计。
  • 卓越的热精度:双温区配置允许进行高度特定的热分布,为研究人员提供敏感材料合成和 CVD 工艺所需的精确条件。
  • 精密制造:从真空密封不锈钢法兰到基于微处理器的 PID 控制,该炉的各个方面均按照严格的工业标准制造,以实现最大的运行一致性。
  • 灵活且可扩展的设计:凭借多种管径选择和开启式机箱,该设备可适应不同的项目需求,使其成为任何实验室灵活且面向未来的投资。
  • 全面的安全合规:我们的系统通过先进的冷却架构和集成的故障保护机制,优先考虑操作员安全,并具备 CE 认证及可选的 NRTL/CSA 升级。

我们的技术团队随时准备协助您选择理想的配置,或为您特定的热处理需求设计定制解决方案。立即联系我们获取详细报价,或与我们的工程专家讨论您的应用要求。

查看更多该产品的问题与解答

获取报价

我们的专业团队将在一个工作日内回复您。请随时与我们联系!

相关产品

用于先进气氛烧结和真空CVD应用的高温双温区开启式管式炉

用于先进气氛烧结和真空CVD应用的高温双温区开启式管式炉

利用这款高精度1400°C双温区开启式管式炉提升您的材料研究水平。它具有独立的温度控制、气氛烧结能力和卓越的热稳定性,是先进CVD实验和工业热处理项目的理想解决方案。

1100°C 双温区立式开启型管式炉(配4英寸石英管及真空密封法兰)

1100°C 双温区立式开启型管式炉(配4英寸石英管及真空密封法兰)

这款1100°C双温区立式开启型管式炉配备四英寸石英管和真空密封法兰。该高精度系统专为CVD和PVD应用而设计,可为实验室研发提供卓越的热均匀性。

1500°C 双温区开启式管式炉(带真空法兰及80mm氧化铝管)

1500°C 双温区开启式管式炉(带真空法兰及80mm氧化铝管)

高性能1500°C双温区开启式管式炉,配备80mm氧化铝管、碳化硅(SiC)加热元件及精密PID控制系统。适用于材料研发、化学气相沉积(CVD)以及在真空和多气氛环境下的热处理,是高端工业实验室研究的理想选择。

双温区开启式管式淬火炉(高真空气氛控制与快速冷却)

双温区开启式管式淬火炉(高真空气氛控制与快速冷却)

该双温区开启式管式炉专为卓越性能而设计,提供精确的淬火和真空气氛控制。采用先进的日本控制系统和优质加热元件,确保关键材料研究和高性能工业研发过程中的热场均匀性。

1200°C 双温区紧凑型开启式管式炉(可选配 1" - 2" 石英管及真空法兰)

1200°C 双温区紧凑型开启式管式炉(可选配 1" - 2" 石英管及真空法兰)

这款 1200°C 双温区紧凑型开启式管式炉提供精确的温度梯度控制和真空处理能力。专为材料科学研发设计,配备独立 PID 控制器、不锈钢法兰和节能纤维绝缘层,确保实验室操作的一致性与高效表现。

用于材料研究与工业热处理的高温加长双温区管式炉

用于材料研究与工业热处理的高温加长双温区管式炉

这款高性能加长双温区管式炉可助力您的材料研究。设备采用瑞典 Kanthal A1 发热元件及先进的 PID 控制技术,在 1200°C 以下可确保卓越的温度均匀性,非常适合现代工程领域中严苛的实验室及工业研发处理应用。

双温区快速加热管式炉 高温真空气氛系统

双温区快速加热管式炉 高温真空气氛系统

这款高性能双温区快速加热管式炉最高温度可达1200℃,升温速率高达每分钟100℃,配备精密PID控制及真空气氛功能,适用于先进材料研究、烧结及化学气相沉积应用。

双区管式炉1100℃,配11英寸石英管与真空法兰,用于8英寸晶圆加工

双区管式炉1100℃,配11英寸石英管与真空法兰,用于8英寸晶圆加工

这款先进的高温双区管式炉配置11英寸石英管和24英寸加热区,可提供出色的热均匀性,适用于工业和实验室领域的8英寸晶圆退火、材料烧结以及特种化学气相沉积研究。

用于材料科学与工业化学气相沉积研究的 1700°C 高温双温区管式炉

用于材料科学与工业化学气相沉积研究的 1700°C 高温双温区管式炉

这款 1700°C 高温双温区管式炉提供独立控制,可实现精确的热梯度,是先进材料研究中 CVD、PVD 和晶体生长的理想选择。它采用二硅化钼(MoSi2)加热元件,并集成坚固的真空密封氧化铝管,具备工业级的可靠性。

用于高温CVD和真空退火的双温区双盖管式炉

用于高温CVD和真空退火的双温区双盖管式炉

专业的高温双温区管式炉,采用Kanthal A1加热元件和先进的PID控制系统,适用于科研及工业应用。该系统为CVD、真空退火和材料烧结提供精确的热处理,并具备卓越的可靠性。

用于工业热处理和材料科学研究的加长型双温区管式炉

用于工业热处理和材料科学研究的加长型双温区管式炉

这款加长型双温区管式炉采用瑞典康泰尔(Kanthal)A1加热元件和先进的PID控制系统,可实现精确的材料研究。该设备提供真空和气氛选项,为严苛的工业实验室热处理应用提供卓越的温度均匀性和可靠性。

双温区石英管式炉,管径80mm,最高温度1200℃,配3通道气体混合器与真空泵系统

双温区石英管式炉,管径80mm,最高温度1200℃,配3通道气体混合器与真空泵系统

这款先进的双温区石英管式炉配备80mm管径炉管、集成三通道气体混合装置与高性能真空系统,专为CVD实验与材料研究设计,可实现精确的1200℃热处理,具备耐腐蚀真空监测能力。

六温区开启式管式炉(带氧化铝管及真空法兰),适用于1500°C高温热处理及CVD工艺

六温区开启式管式炉(带氧化铝管及真空法兰),适用于1500°C高温热处理及CVD工艺

这款1500°C六温区开启式管式炉为专业实验室研究和高温CVD应用提供了卓越的热控性能。设备配备1800mm氧化铝管及精确的30段PID控制器,确保材料处理和退火结果的一致性。

1200°C 双管滑动管式炉,配备双管及法兰,适用于 PECVD 工艺

1200°C 双管滑动管式炉,配备双管及法兰,适用于 PECVD 工艺

这款 1200°C 双管滑动管式炉专为精密 PECVD 工艺设计,旨在加速材料研究。它配备高功率射频(RF)等离子发生器和快速热处理能力,可为先进的工业研发应用提供卓越的薄膜均匀性和一致的实验结果。

用于二维过渡金属硫族化合物生长与材料升华研究的高温1200℃自动滑动双温区管式炉

用于二维过渡金属硫族化合物生长与材料升华研究的高温1200℃自动滑动双温区管式炉

使用这款专为TMD生长设计的1200°C自动滑动双炉系统,掌握二维材料合成。具备独立的升华和沉积温区,实现精确的热控制与快速冷却速率,确保高质量薄膜晶体生产的研究成果。

1250℃分体式管式炉,配备3英寸莫来石管与真空密封法兰,用于精密热处理

1250℃分体式管式炉,配备3英寸莫来石管与真空密封法兰,用于精密热处理

这款1250℃分体式管式炉配备3英寸莫来石管和真空密封法兰,适用于高端研发场景。专为材料科学设计,可提供精准PID控制、高纯隔热性能,以及在真空或可控气氛环境下的可靠运行表现,属于专业级设备。

用于先进材料研究的精密旋转与倾角可调双温旋转管式炉

用于先进材料研究的精密旋转与倾角可调双温旋转管式炉

高性能双温旋转管式炉,采用瑞典康泰尔(Kanthal)A1加热元件和精密旋转机构,确保材料处理的均匀性。非常适用于需要可靠热控制和可调倾角的高要求工业实验室环境,满足CVD及研发应用需求。

用于粉末CVD涂层和核壳材料合成的1100°C双温区旋转管式炉

用于粉末CVD涂层和核壳材料合成的1100°C双温区旋转管式炉

利用这款高性能1100°C双温区旋转管式炉优化粉末处理工艺。它专为CVD涂层和核壳合成而设计,配备五英寸石英管和搅拌叶片,确保卓越的热均匀性和一致的材料批量生产。

1200℃对开式立式管式炉,配备石英管与不锈钢真空法兰,适用于快速热处理

1200℃对开式立式管式炉,配备石英管与不锈钢真空法兰,适用于快速热处理

这款1200℃对开式立式管式炉配备5英寸石英管与精密PID控制,可用于快速淬火、真空处理与先进材料合成,满足高要求工业实验室环境需求,最大化提升研究效率。

1200°C 十温区开启式管式炉,支持水平与垂直安装,适用于多温区热梯度及大直径材料加工

1200°C 十温区开启式管式炉,支持水平与垂直安装,适用于多温区热梯度及大直径材料加工

先进的1200°C十温区开启式管式炉系统,通过十个独立的加热区提供无与伦比的热梯度控制,支持水平或垂直灵活安装。专为精确的工业模拟、材料合成及高性能实验室研发热处理应用而设计,具有卓越的可靠性。