产品概述
该高性能热处理系统代表了实验室热处理技术的标杆，专为先进材料研究和工业研发而设计。通过在开启式铰链结构内采用双温区加热配置，该设备可实现精确的温度曲线设定和快速冷却，是高温气氛烧结、CVD实验和真空退火不可或缺的资产。其核心价值在于能够保持极其均匀的温度场，同时提供独立控制不同加热温区的灵活性。
该系统专为严苛的实验室环境而设计，常用于材料科学研究所、航空航天研究设施和半导体开发实验室。无论是进行复杂的化学气相沉积还是简单的气氛还原，该设备都能确保高重现性和高精度。双层外壳结构有助于高效风冷，确保在内腔达到极端温度时，外表面仍可安全触摸，体现了对性能和操作员安全的双重承诺。
工程师和采购团队可以信赖该装置的坚固结构和优质热组件。从进口日本多晶氧化铝纤维绝缘材料到碳化硅（SiC）加热元件，每一个细节都针对长寿命和高能效进行了优化。该系统为合成新材料或进行严格的热应力测试提供了稳定、可控的环境，确保您的研究成果即使在最苛刻的实验条件下也能保持一致。
主要特点
- 双温区独立控制： 该系统具有两个独立的加热区，每个区域都配有专用的控制器和热电偶，允许用户创建特定的温度梯度或保持较长的均匀恒温区。
- 精密PID温度管理： 设备采用先进的40段数字控制器，提供专业级的精度，并针对低、中、高温范围专门调整了6个PID参数，以防止超调。
- 卓越的隔热性能： 炉膛由高纯度多晶氧化铝纤维制成，具有优异的保温性、高反射率以及抗热胀冷缩能力，显著降低了能耗。
- 高性能SiC加热元件： 碳化硅元件经战略性布局，即使在频繁的高温循环下，也能确保温度场均匀并延长使用寿命。
- 集成安全保护系统： 该装置配备了行程限位开关，可在开盖时自动切断电源，并具有超温和过流保护功能，确保故障安全运行。
- 真空和气氛多功能性： 炉管采用不锈钢双环密封法兰，配合分子泵可达到10⁻⁴ Pa的真空度，并支持多种气体流量配置，用于受控气氛加工。
- 带液压支撑的开启式炉膛设计： 分体式炉体可通过液压升降机轻松打开，便于炉管快速冷却或方便地进行样品放置和维护。
- 先进的数据通信： 集成的485通信接口允许将设备连接到计算机，通过专用软件进行实时监控、数据记录和加热曲线生成。
- 可靠的电力电子器件： 系统采用优质组件构建，包括德国制造的晶闸管和移相触发器，确保电流输送稳定，并保护加热元件免受电涌影响。
应用领域
| 应用 | 描述 | 主要优势 |
|---|---|---|
| 化学气相沉积 (CVD) | 通过加热管内的气态前驱体反应生长薄膜和纳米材料。 | 精确的温区控制确保薄膜厚度均匀。 |
| 热解研究 | 在惰性气氛中对废轮胎或生物质等有机材料进行热分解。 | 双温区防止局部碳化并优化油/气产率。 |
| 气氛烧结 | 在还原性或惰性气体下烧结陶瓷或金属粉末，以防止氧化。 | 可靠的法兰密封保持高气氛纯度。 |
| 真空退火 | 在低压环境下对金属部件或晶圆进行应力消除。 | 高真空能力防止表面污染。 |
| 催化剂测试 | 评估催化材料在特定温度梯度下的效率。 | 独立温区允许在一次通过中实现不同的反应阶段。 |
| 陶瓷共烧 | 对需要复杂升温/保温循环的多层陶瓷组件进行同时烧制。 | 40段编程允许复杂的温度曲线设置。 |
| 半导体掺杂 | 在高温下将掺杂剂扩散到半导体晶圆中。 | 工艺管内极佳的温度均匀性。 |
技术规格
| 参数 | TU-GS15-I | TU-GS15-II | TU-GS15-III |
|---|---|---|---|
| 炉管外径 | 60 mm | 80 mm | 100 mm |
| 炉管长度 | 1000 mm | 1000 mm | 1000 mm |
| 最高工作温度 | 1400°C | 1400°C | 1400°C |
| 连续工作温度 | 1350°C | 1350°C | 1350°C |
| 加热温区 | 2区 (每区260mm) | 2区 (每区260mm) | 2区 (每区260mm) |
| 恒温区长度 | 每区100mm | 每区100mm | 每区100mm |
| 升温速率 | ≤30°C / 分钟 | ≤30°C / 分钟 | ≤30°C / 分钟 |
| 控温精度 | +/- 1°C | +/- 1°C | +/- 1°C |
| 热电偶类型 | S型 | S型 | S型 |
| 加热元件 | 碳化硅 (SiC) | 碳化硅 (SiC) | 碳化硅 (SiC) |
| 温度控制器 | Shimaden FP93 (40段) | Shimaden FP93 (40段) | Shimaden FP93 (40段) |
| 炉管材质 | 氧化铝陶瓷 | 氧化铝陶瓷 | 氧化铝陶瓷 |
| 炉膛材质 | 多晶98%氧化铝纤维 | 多晶98%氧化铝纤维 | 多晶98%氧化铝纤维 |
| 触发器 | 移相触发 | 移相触发 | 移相触发 |
| 整体尺寸 | 1420 x 490 x 855 mm | 1420 x 490 x 855 mm | 1420 x 490 x 855 mm |
| 真空度 | 10⁻¹ 至 10⁻⁴ Pa (取决于泵) | 10⁻¹ 至 10⁻⁴ Pa (取决于泵) | 10⁻¹ 至 10⁻⁴ Pa (取决于泵) |
为何选择此款管式炉
- 无与伦比的热精度： 双温区配置结合日本进口PID控制器，为敏感材料合成提供了世界级的稳定性和精度。
- 工业级耐用性： 该装置采用SiC元件和高密度氧化铝纤维制造，专为高通量工业和学术实验室的连续运行而设计。
- 先进的安全协议： 从机械限位开关到电子漏电保护，设备经过精心设计，可保护用户和您的设施免受操作风险。
- 可定制的气氛控制： 高真空法兰和可选的数字流量计，无论是在氢气、氩气还是真空环境下工作，都能实现高度定制化的环境。
- 专家工程支持： 我们提供全面的文档、控制软件和技术支持，确保该设备能无缝集成到您的工作流程中。
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