RTP 炉

900 ºC 最高温度滑轨式 RTP 管式炉，配备红外快速加热和 4 英寸外径石英管

900 ºC 最高温度滑轨式 RTP 管式炉，配备红外快速加热和 4 英寸外径石英管

TU-RT26

用于直接蒸发沉积和快速热处理的内置磁性样品滑动机构1200℃管式炉

用于直接蒸发沉积和快速热处理的内置磁性样品滑动机构1200℃管式炉

TU-RT02

1200℃滑动内置坩埚管式炉，用于可控气氛薄膜沉积与材料升华研究

1200℃滑动内置坩埚管式炉，用于可控气氛薄膜沉积与材料升华研究

TU-RT15

1200°C 滑动管式炉，适用于快速热处理及 CVD 石墨烯生长（支持 100mm 外径）

1200°C 滑动管式炉，适用于快速热处理及 CVD 石墨烯生长（支持 100mm 外径）

TU-RT14

快速热处理气氛控制底装料炉 1100℃，50℃/秒升温速率，适用于晶圆退火

快速热处理气氛控制底装料炉 1100℃，50℃/秒升温速率，适用于晶圆退火

TU-RT29

用于二维过渡金属硫族化合物生长与材料升华研究的高温1200℃自动滑动双温区管式炉

用于二维过渡金属硫族化合物生长与材料升华研究的高温1200℃自动滑动双温区管式炉

TU-RT06

快速热处理滑动管式炉，配4英寸外径石英管及900°C红外加热

快速热处理滑动管式炉，配4英寸外径石英管及900°C红外加热

TU-RT01

1200°C 高温 4 英寸管式炉，带用于 CVD 系统的滑动法兰

1200°C 高温 4 英寸管式炉，带用于 CVD 系统的滑动法兰

TU-RT25

双区红外加热快速热处理 (RTP) 管式炉，配有 4 英寸内径石英管及滑动样品架

双区红外加热快速热处理 (RTP) 管式炉，配有 4 英寸内径石英管及滑动样品架

TU-RT28

用于快速热处理 RTP 和晶圆退火的 1200°C 高温 5 英寸滑动管式炉

用于快速热处理 RTP 和晶圆退火的 1200°C 高温 5 英寸滑动管式炉

TU-KT09

用于二维材料生长和TCVD合成的1200°C双温区滑动管式炉

用于二维材料生长和TCVD合成的1200°C双温区滑动管式炉

TU-RT10

双管 100mm 80mm CVD 滑动炉，配备 4 通道气体混合与真空系统

双管 100mm 80mm CVD 滑动炉，配备 4 通道气体混合与真空系统

TU-RT12

1200°C 双管滑动管式炉，配备双管及法兰，适用于 PECVD 工艺

1200°C 双管滑动管式炉，配备双管及法兰，适用于 PECVD 工艺

TU-RT11

双温区 CSS 真空快速热处理炉，用于 3 英寸晶圆薄膜涂层，最高 650°C

双温区 CSS 真空快速热处理炉，用于 3 英寸晶圆薄膜涂层，最高 650°C

TU-RT30

1500°C高温管式炉，带滑动法兰和50mm外径，适用于快速热处理，加热冷却迅速

1500°C高温管式炉，带滑动法兰和50mm外径，适用于快速热处理，加热冷却迅速

TU-RT03

2500°C 高真空超快加热压片机（带自动化 8 样品装载系统）

2500°C 高真空超快加热压片机（带自动化 8 样品装载系统）

TU-RT21

1700°C 带有滑动平台的高温箱式炉，用于快速加热和冷却的热处理系统

1700°C 带有滑动平台的高温箱式炉，用于快速加热和冷却的热处理系统

TU-RT16

800°C高温快速热处理炉，配备旋转样品架，适用于近距升华及薄膜太阳能电池研究

800°C高温快速热处理炉，配备旋转样品架，适用于近距升华及薄膜太阳能电池研究

TU-RT32

用于HPCVD和晶体生长研究的1200°C高温分体式管式炉（带内部移动机构）

用于HPCVD和晶体生长研究的1200°C高温分体式管式炉（带内部移动机构）

TU-RT07

1200°C 最高温双滑动管式炉，配 50 mm CVD 管法兰

1200°C 最高温双滑动管式炉，配 50 mm CVD 管法兰

TU-RT05

紧凑型气氛控制快速热处理 (RTP) 炉，配 4 英寸内径石英管，1100°C

紧凑型气氛控制快速热处理 (RTP) 炉，配 4 英寸内径石英管，1100°C

TU-RT31

1650°C循环蒸汽腐蚀与热冲击测试炉（集成水蒸气发生器及自动样品输送系统）

1650°C循环蒸汽腐蚀与热冲击测试炉（集成水蒸气发生器及自动样品输送系统）

TU-RT17

超快热压炉 2900°C 最高温度 200K/秒加热速率真空气氛快速处理系统

超快热压炉 2900°C 最高温度 200K/秒加热速率真空气氛快速处理系统

TU-RT18

1200°C 最高温滑动管式炉，配 80mm 外径石英管及真空法兰，适用于快速热处理及快速加热冷却

1200°C 最高温滑动管式炉，配 80mm 外径石英管及真空法兰，适用于快速热处理及快速加热冷却

TU-KT08

用于材料研究的紧凑型火花等离子烧结 SPS 炉 1200°C 最高 100 MPa 压力高速烧结系统

用于材料研究的紧凑型火花等离子烧结 SPS 炉 1200°C 最高 100 MPa 压力高速烧结系统

TU-RT20

950°C 快速热处理炉，适用于带旋转基片台的 12 英寸晶圆 CSS 镀膜

950°C 快速热处理炉，适用于带旋转基片台的 12 英寸晶圆 CSS 镀膜

TU-RT33

用于快速加热和冷却的自动化滑动管式炉，2英寸外径，最高1100°C

用于快速加热和冷却的自动化滑动管式炉，2英寸外径，最高1100°C

TU-RT04

配备 2 英寸管和真空泵的 1200℃ 最高温紧凑型自动滑动 PECVD 炉

配备 2 英寸管和真空泵的 1200℃ 最高温紧凑型自动滑动 PECVD 炉

TU-RT13

高温超快速加热压制炉 2900°C 最高 100kgf 快速热处理系统

高温超快速加热压制炉 2900°C 最高 100kgf 快速热处理系统

TU-RT19

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