产品概述




这套高性能热处理系统代表了材料科学研究和工业热处理领域的先进水平。该设备设计为立式可分体管式炉,具备三个独立加热区,可满足研究人员高达 1700°C 的严苛需求。其立式结构与分体式贝壳设计提供了无与伦比的灵活性,尤其适用于需要快速淬冷或集成立式运动机构的场景。系统可在高真空或精确控制的流动气体条件下为样品加热提供稳定环境,是开发下一代材料的核心设备。
该设备面向先进实验室、半导体制造商和冶金研究机构,可提供单晶生长、薄膜沉积及均匀化处理所需的高精度。通过采用三个独立加热区,系统突破了单温区炉的热限制,显著扩大了恒温区域。这确保了实验样品无论尺寸大小或在加热腔体中的位置如何,都能获得均匀热能,这对于高要求研发环境中科学数据的可重复性至关重要。
B2B 工业买家可以依赖该系统坚固的结构与卓越的工程设计。设备采用高纯氧化铝纤维隔热层和双层冷却外壳,即使在连续 1600°C 高温循环下也能保持运行完整性和外部安全。精密 PID 控制器与先进安全报警系统的集成,确保一旦设定工艺流程,系统即可在极少人工干预下运行,为严苛的工业排程和关键材料处理提供所需的可靠性和长期一致性。
主要特点
- 三温区独立热控: 每个 200mm 加热区均由独立 PID 控制器管理,可根据工艺需求建立较长的均匀温度场或精确的热梯度。
- 精密分体式炉体设计: 立式炉体采用铰链式结构,便于快速开启,简化管体装载,并可在不干扰复杂立式升降或淬冷机构的情况下更换工艺管。
- 先进高纯氧化铝纤维隔热: 该系统采用节能型 A 级氧化铝纤维,可最大限度减少热损失、降低能耗,并在保护炉体结构完整性的同时实现快速升温。
- 高真空一体化密封: 配备不锈钢真空密封法兰、阀门和真空计,在搭配分子泵时可达到 10E-5 Torr 真空度,非常适合对污染敏感的工艺。
- 可编程 PID 自动化: 控制系统具备 30 段可编程逻辑,可精确管理升温速率、保温时间和冷却曲线,确保多批次结果一致。
- 安全优先的双层冷却外壳: 内外壳之间集成空气冷却系统,可将炉体外表面保持在安全温度,保护人员并延长内部电子元件寿命。
- 铂铑热电偶精度: 采用 B 型双铂铑热电偶,即使在持续极高温条件下也能提供高精度温度反馈和长期稳定性。
- 一体化安全保护: 内置过温和热电偶断裂检测机制可自动切断电源,防止设备损坏,确保在无人值守的长期加热循环中安全运行。
- 立式淬冷兼容性: 立式结构专为淬冷实验设计,样品可通过可选升降机构从热区下落或下降至冷却介质中。
应用领域
| 应用 | 说明 | 主要优势 |
|---|---|---|
| 单晶生长 | 用于可控结晶和光电材料固相合成的立式梯度加热。 | 精确热梯度可确保高晶体纯度和结构完整性。 |
| 淬冷实验 | 将材料从高温区快速转移至冷却介质中,以锁定特定相态。 | 立式分体设计可无缝集成重力式淬冷机构。 |
| 扩散退火 | 在 1000°C 或更高温度下对 Fe-Ni-Cu 等合金进行长时间均匀化处理。 | 三温区均匀性消除了温度梯度引起的扩散速率偏差。 |
| CVD / PECVD | 在流动气体和高真空环境下进行薄膜应用的化学气相沉积。 | 气密不锈钢法兰可维持高纯气氛条件。 |
| 陶瓷烧结 | 用于先进陶瓷和技术粉体在 1600°C 连续运行条件下的高温致密化。 | 卓越的温度稳定性可防止变形并确保晶粒均匀生长。 |
| 真空热处理 | 在高真空下对氧敏感合金进行内应力消除或材料性能改性。 | 可防止样品氧化,并在高温下获得高质量表面光洁度。 |
| 电池材料研发 | 在特定气氛条件下对负极/正极粉体进行热处理,以优化电化学性能。 | 多段程序可实现复杂的多阶段热反应循环。 |
技术规格
| 参数 | TU-C23 规格详情 |
|---|---|
| 型号 | TU-C23 |
| 最高温度 | 1700°C(短时) |
| 连续工作温度 | 1600°C |
| 加热区 | 三温区(200mm + 200mm + 200mm) |
| 输入功率 | 12 KW |
| 工作电压 | AC 220V 单相,50/60 Hz(需 63A 断路器) |
| 管体尺寸 | 外径 60mm × 内径 54mm × 长度 1000mm |
| 升温速率(0-1400°C) | ≤ 10°C / min |
| 升温速率(1400-1600°C) | ≤ 5°C / min |
| 温度精度 | ± 1°C |
| 温控器 | PID 自动控制,30 段可编程 |
| 热电偶类型 | B 型双铂铑 |
| 真空度(机械泵) | 10E-2 Torr |
| 真空度(分子泵) | 10E-5 Torr |
| 隔热材料 | 高纯氧化铝纤维 |
| 外壳结构 | 双层结构,集成空气冷却系统 |
| 密封系统 | 不锈钢真空法兰,带阀门和真空计 |
| 接口 | DB9 通讯端口(可选 PC 控制模块) |
为什么选择 TU-C23
- 卓越的热均匀性: 三温区独立加热架构相比单温区方案可提供明显更长的恒温区,对高精度扩散与退火研究至关重要。
- 灵活的立式配置: 专为需要立式样品处理、晶体生长和淬冷的工艺而设计,为研究人员提供水平炉无法比拟的灵活配置选择。
- 优质材料完整性: 从高纯陶瓷纤维隔热到精密 B 型热电偶,每个组件都为 1700°C 临界条件下的耐用性与性能而选用。
- 无缝系统集成: 配备真空法兰并兼容多种运动机构(淬冷/升降),使其成为复杂实验环境的即用型解决方案。
- 工业级安全与可靠性: 具备先进的超温保护和双壳冷却设计,该系统专为高通量工业和学术研发实验室的严苛使用而打造。
如需定制配置、与运动机构集成,或获取 TU-C23 系统正式报价,请联系我们的技术销售团队,讨论您的具体多温区工艺需求。
获取报价
我们的专业团队将在一个工作日内回复您。请随时与我们联系!
相关产品
高温1500°C三温区开启式管式炉(配80mm刚玉管及真空法兰)
这款精心设计的1500°C三温区开启式管式炉配备80mm刚玉管和精密PID控制系统。它非常适合需要卓越温度均匀性和高真空稳定性的先进材料研究、CVD工艺及工业热处理。
1200°C 三温区可开启式管式炉,带18英寸加热长度和真空法兰
使用这款1200°C三温区可开启式管式炉优化热处理工艺。其具备18英寸加热长度和精确的PID控制,为全球实验室设施中的先进材料研究、退火、烧结和专业工业研发应用提供卓越的温度均匀性。
三温区分体式管式炉,36英寸加热长度,高温1200C,带真空法兰的材料研究炉
为1200C高温处理精密设计的三温区分体式管式炉。采用先进PID控制,适用于材料科学研发中的气氛和真空应用,提供卓越的热均匀性以及在工业实验室和研究机构环境中的可靠性能。
高温三温区开启式管式炉 1200℃ 最高温度 35.4 英寸加热长度 8 英寸内径炉管
这款高性能三温区开启式管式炉配备 35.4 英寸加热区和 8 英寸直径炉管,适用于先进的热处理工艺。通过独立的温区管理,可在真空或气体环境下实现 1200℃ 的峰值温度,并提供卓越的温度均匀性。
带可选石英管和真空法兰系统的24英寸三温区分体管式炉,适用于高温材料合成
采用这款高端24英寸三温区分体管式炉,加速您的材料研究。它具备独立温控、兼容石英管以及真空密封法兰,可在高达1200°C的条件下提供精确热处理,满足严苛的实验室和工业研发应用需求。
24英寸加热长度三温区管式炉(带铰链式法兰石英管系统)
这款专业的三温区管式炉具有24英寸的加热长度和铰链式法兰,便于高效装载样品。针对1200°C工艺进行了优化,可为先进的工业材料研究提供精确的温度均匀性和真空兼容性。
1100°C 三温区管式炉,配有 8.5 至 11 英寸外径石英管及真空法兰,适用于大型晶圆加工
精密 1100°C 三温区管式炉,配备超大 8.5 至 11 英寸外径石英管及气密性法兰。专为大规模晶圆加工和先进材料研究而设计,具有卓越的热均匀性和高真空兼容性,适用于工业研发项目及生产。
大型立式三温区管式炉,配备8英寸或11英寸石英管及高真空法兰,最高温度1200°C
我们设计的高容量立式三温区炉提供独立的热控制,并兼容大型11英寸石英管,可在严苛的实验室环境中,为关键的工业退火、烧结研究和先进材料科学开发提供卓越的均匀性和增强的真空完整性。
1200C 三温区分体式立式管式炉 4英寸石英管 不锈钢真空法兰
这款1200C三温区分体式立式管式炉配备4英寸石英管和不锈钢真空法兰,适用于高精度热处理。非常适合材料淬火和合成,这套坚固的系统可确保均匀加热,并便于快速装样。
1500℃高温开启式管式炉,用于材料研究、真空及气氛热处理
这款1500℃高温开启式管式炉为先进材料研究和工业烧结应用提供精确的热处理方案,采用双层壳体结构、集成PID控制及真空不锈钢法兰,在严苛的实验室环境下表现可靠。
1600°C 三温区开启式管式炉(配氧化铝管及真空法兰)
这款 1600°C 三温区开启式管式炉可为先进材料合成及研发提供精确的热分布控制和真空环境,通过多个独立的加热温区确保卓越的温度均匀性,且结构坚固,性能高度稳定。
1250℃分体式管式炉,配备3英寸莫来石管与真空密封法兰,用于精密热处理
这款1250℃分体式管式炉配备3英寸莫来石管和真空密封法兰,适用于高端研发场景。专为材料科学设计,可提供精准PID控制、高纯隔热性能,以及在真空或可控气氛环境下的可靠运行表现,属于专业级设备。
立式可开启管式炉 0-1700℃高温CVD与真空热处理实验室系统
这款1700℃立式可开启管式炉专为先进材料研究打造,具备精准三区域加热与快速淬火能力。非常适用于CVD工艺与真空退火处理,可在要求严苛的研发环境中提供工业级可靠性、氛围控制能力与模块化灵活性。
用于先进材料科学烧结与化学气相沉积应用的高温三温区管式炉
这款精密三温区管式炉可优化热处理工艺,最高温度达1700℃,配备独立PID控制,实现优异的温度均匀性,是先进研究、工业研发实验室或大规模生产设施中CVD真空退火与材料烧结的理想选择
1200℃对开式立式管式炉,配备石英管与不锈钢真空法兰,适用于快速热处理
这款1200℃对开式立式管式炉配备5英寸石英管与精密PID控制,可用于快速淬火、真空处理与先进材料合成,满足高要求工业实验室环境需求,最大化提升研究效率。
1700°C 立式真空及气氛管式炉(配 80mm 刚玉管)
这款高精度立式管式炉可为材料合成提供高达 1700°C 的卓越热均匀性。它配备 80mm 刚玉管和先进的真空密封法兰,能为严苛的工业研发和专业热处理工艺提供稳定的气氛环境。
高温 1600°C 分体式管式炉,可选配真空法兰及阀门,支持 60mm/80mm 刚玉管
高性能 1600°C 分体式管式炉,配备真空法兰、阀门及精密 PID 控制系统。该工业级设备支持 60mm 或 80mm 刚玉管,适用于先进材料研发中的气氛控制热处理及高真空处理环境。
1200°C 最高温三温区管式炉,最大外径6英寸(含管及法兰)
这款1200°C三温区管式炉配备6英寸外径处理能力及先进触摸屏控制系统,旨在优化热处理工艺。该高精度系统可确保温度分布均匀,适用于先进材料研究、半导体退火及工业热处理应用。
1200°C 十温区开启式管式炉,支持水平与垂直安装,适用于多温区热梯度及大直径材料加工
先进的1200°C十温区开启式管式炉系统,通过十个独立的加热区提供无与伦比的热梯度控制,支持水平或垂直灵活安装。专为精确的工业模拟、材料合成及高性能实验室研发热处理应用而设计,具有卓越的可靠性。
1200°C 5英寸立式石英管式炉(带不锈钢真空法兰)
高性能1200°C立式石英管式炉,配备5英寸直径加热腔和不锈钢真空法兰。精密30段PID控制确保了材料科学研发、CVD及受控气氛下特殊淬火应用中热处理的准确性。