高温 1600°C 分体式管式炉,可选配真空法兰及阀门,支持 60mm/80mm 刚玉管

管式炉

高温 1600°C 分体式管式炉,可选配真空法兰及阀门,支持 60mm/80mm 刚玉管

货号: TU-69

最高温度: 1550°C(元件额定温度为1650°C) 加热元件类型: Kanthal GLOBAR SG 1650 级碳化硅 (SiC) 温度控制精度: +/- 1 ºC
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产品概述

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这款高性能分体式刚玉管式炉代表了材料科学与工业研发领域热工程的巅峰。该设备旨在满足实验室热处理的严苛要求,采用独特的分体式框架结构,可快速进入反应腔体。这种便捷性便于工艺管和样品的装卸,对于时间与精度至关重要的复杂实验设置而言,它是必不可少的工具。该系统将多功能性与卓越的热稳定性相结合,使研究人员能够专注于实验结果,而非受限于硬件条件。

该设备专为需要受控气氛或高真空条件的环境而设计,广泛应用于半导体开发、陶瓷烧结和先进冶金领域。其核心价值在于能够以卓越的均匀性达到最高 1600°C 的温度,并配有坚固的真空密封系统。无论是进行化学气相沉积 (CVD)、煅烧还是退火,该炉都能提供可重复且可靠的环境,确保实验的完整性和工艺的可扩展性。带有集成空气冷却的双层钢制外壳确保了在内部腔体达到极端温度时,外部仍能保持安全,便于操作人员接触。

可靠性是该热处理系统的标志。通过使用优质加热元件和先进的耐火涂层,该装置旨在承受严苛工业研发环境中的连续运行周期。从不锈钢真空法兰到精密温度控制器,每一个组件的选择都考虑到了其在压力下的耐用性和性能。买家可以放心投资,因为该设备旨在以极少的维护提供长期服务,并由优先考虑每个热循环安全性和准确性的工程标准提供支持。

主要特点

  • 精密分体式设计: 创新的分体式炉膛设计使得工艺管的装卸毫不费力。对于需要在运行后快速检查样品,或涉及在刚玉管内进行精密预装配仪器的用户来说,此功能尤为实用。
  • Kanthal GLOBAR SG 1650 级碳化硅 (SiC) 元件: 该系统配备 16 根高等级碳化硅加热元件,提供快速加热和卓越的使用寿命。这些元件因其在接近 1600°C 的温度下保持稳定电阻率和热输出的能力而被专门选用。
  • 先进的 PID 温度控制: 集成的 FA-YD518P-AG 控制器具有 30 个可编程段,用于升温、降温和保温。凭借 +/- 1°C 的精度和自动调谐功能,它为敏感材料合成提供了所需的精确热曲线。
  • 卓越的真空密封架构: 包含一对智能不锈钢真空密封法兰,配有内置真空计和阀门。该系统支持 1/4" 管道和 KF25 适配器,配合分子泵使用时,真空度可达 10^-5 torr。
  • 高效隔热: 腔体采用高纯度纤维状氧化铝隔热材料,显著减少了热量损失和能耗。该材料确保热量集中在工艺区,改善了炉子的环境足迹和热效率。
  • 增强型耐火保护: 在炉膛内壁和加热元件上均涂有专门的耐火涂层。这种涂层通过保护组件免受化学蒸汽和高温氧化的影响,显著延长了组件的使用寿命。
  • 工业安全标准: 系统采用双层钢制外壳和空气冷却风扇,将外表面温度保持在 60°C 以下。该炉还包括内置的超温和热电偶故障报警器,以保护设备和实验室环境。
  • 材料专用刚玉组件: 系统包括高质量刚玉管(可选 60mm 或 80mm 直径)和纤维陶瓷管塞。这些管塞对于阻挡热辐射、保护密封法兰以及确保均匀的恒温区至关重要。
  • 标准合规与认证: 该炉已通过 CE 认证,符合严格的欧洲安全和质量标准。对于需要特定北美合规性的设施,可提供 NRTL 或 CSA 认证作为可选升级,以满足当地安全法规。
  • 灵活的通信接口: 控制器标配 DB9/PC 通信端口。用户可升级至 Eurotherm 控制器以实现 LabVIEW 兼容性,从而在工业网络上进行复杂的数据记录和远程过程管理。

应用领域

应用 描述 主要优势
化学气相沉积 (CVD) 精确的气体流量和温度控制,用于在基底上沉积薄膜。 高均匀性和真空完整性确保了高纯度薄膜的生长。
先进陶瓷烧结 技术陶瓷的高温处理,以达到最大密度。 1600°C 的能力允许烧结复杂的氧化物和碳化物材料。
半导体退火 硅片或化合物半导体的热处理,以改变电学性能。 精确的 PID 控制防止热冲击并确保可重复的晶体结构。
催化剂合成 化学工程中催化剂前驱体的气氛受控煅烧。 真空法兰允许引入特定的还原性或氧化性气体。
电池材料研究 在严格控制的热曲线下合成正极和负极粉末。 分体式设计便于快速更换样品,进行实验迭代。
冶金热处理 真空或惰性气体中高性能合金的回火和淬火研究。 防止高温金属加工过程中的氧化和结垢。
碳纳米管生产 在受控管式环境中对碳源进行高温热解。 稳定的 390mm 加热区确保了大批量样品的一致产量。

技术规格

规格 TU-69-60 TU-69-80
管材 高纯刚玉 高纯刚玉
管尺寸 外径: 60mm x 内径: 54mm x 长: 1000mm 外径: 80mm x 内径: 74mm x 长: 1000mm
最高加热温度 1550°C 1550°C
连续工作温度 (空气) 1500°C 1500°C
连续工作温度 (真空) 1400°C 1400°C
升温速率 ≤ 10°C/min ≤ 10°C/min
总加热区长度 390mm 390mm
恒温区 (+/-1°C) 160mm 160mm
加热元件 16 根 Kanthal GLOBAR SG 1650 SiC 16 根 Kanthal GLOBAR SG 1650 SiC
温度控制器 FA-YD518P-AG (30 段) FA-YD518P-AG (30 段)
控制精度 +/- 1°C +/- 1°C
真空密封 带真空计和阀门的不锈钢法兰 带真空计和阀门的不锈钢法兰
真空接口 1/4" 管道 & KF25 适配器 1/4" 管道 & KF25 适配器
极限真空度 10^-2 torr (机械泵) / 10^-5 torr (分子泵) 10^-2 torr (机械泵) / 10^-5 torr (分子泵)
漏率 < 5 mtorr / min < 5 mtorr / min
输入电压 208 - 240VAC 单相, 50/60Hz 208 - 240VAC 单相, 50/60Hz
额定功率 6.0 KW 6.0 KW
合规性 CE 认证 CE 认证

为何选择此款炉子

  • 优质工程: 采用 Kanthal GLOBAR SiC 加热元件和高纯度刚玉隔热材料,该设备专为高性能瓶颈不可接受的工业环境而设计。
  • 卓越的热精度: 30 段 PID 控制系统提供了发表级研究和高风险工业生产所必需的精度和可重复性。
  • 多功能处理环境: 无论您的工艺需要高真空、惰性气体流动还是环境空气条件,集成的不锈钢法兰系统都为您所有的热处理需求提供了一个灵活的平台。
  • 坚固耐用: 特殊耐火涂层与双层钢制外壳的结合,确保该炉在您的实验室中多年保持生产力,并维持结构和运行的完整性。
  • 专家定制与支持: 我们提供一系列可选升级,包括 Eurotherm 控制器、LabVIEW 软件套件和各种气体输送系统,确保设备完美适配您的特定工艺需求。

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