用于材料研究的1500°C分体式管式炉,配备氧化铝管和真空密封法兰

管式炉

用于材料研究的1500°C分体式管式炉,配备氧化铝管和真空密封法兰

货号: TU-63

最高温度: 1500°C 温度控制精度: +/- 1°C 连续加热温度: 1400°C
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产品概述

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这款高温分体式管式炉代表了先进材料科学与工业研发领域精密工程的巅峰。该设备设计可在最高1500°C下运行,配备独特的可分体氧化铝管腔体,便于快速取放样品并轻松集成复杂实验装置。通过将高性能碳化硅(SiC)加热元件与多功能管式结构相结合,该系统可提供关键工艺所需的稳定热环境,例如烧结、退火和化学气相沉积。

该设备的主要价值在于其对真空和受控气氛条件的适应性。配备高品质不锈钢真空密封法兰和高纯度氧化铝管,该装置支持涵盖半导体制造、航空航天材料开发和催化研究等多个行业的严苛热处理。分体式设计尤其适合需要频繁插入和取出工艺管、同时又不影响周围样品装置或气体连接的研究人员。

该炉专为重载工业和实验室用途而设计,采用双层钢制外壳,并使用风冷技术以保持外壳安全温度。每个部件,从纤维状氧化铝绝缘材料到先进的PID控制器,都经过精心选配,以确保长期可靠性和一致性。该系统为采购团队和实验室管理者提供了坚固、高可用性的解决方案,适用于精度和安全性都不容妥协的高要求热处理流程。

主要特点

  • 可分体式腔体结构: 纵向分体设计为处理区域提供了无与伦比的可达性。这使操作人员能够轻松安装或拆卸氧化铝管、管理内部热电偶或调整样品位置,而无需拆解整个装置,从而显著减少实验批次之间的停机时间。
  • 先进的碳化硅(SiC)加热元件: 高等级1500级SiC棒可提供高效且均匀的辐射热。这些元件专门配置用于承受快速热循环并保持高温稳定性,确保设备能够可靠地达到其最高额定温度,满足关键工业工艺需求。
  • 精密PID温度调节: 集成的数字控制器具备比例-积分-微分逻辑及自动整定功能。系统提供30段可编程升温、降温和保温程序,温控精度可达+/- 1°C,为敏感材料合成提供可重复的热循环。
  • 集成安全联锁保护: 为确保繁忙实验室环境中的人员安全,系统配备内置联锁机制。该安全功能会在炉盖开启时自动切断加热元件电源,防止意外接触高压或极端热辐射。
  • 高性能真空密封法兰: 每台设备均配有一对智能不锈钢真空法兰,并配备阀门和压力表。此配置可在高真空环境与加压气体流动条件之间无缝切换,满足广泛的气氛控制需求。
  • 双层风冷钢制外壳: 炉体采用内部风冷风扇系统设计。该双层结构确保内部腔体达到1500°C时,外表面仍低于60°C,从而保护操作人员及周边敏感实验室设备。
  • 工业级热绝缘: 采用高纯度纤维状氧化铝绝热材料,最大限度减少热量损失并提高能效。内表面的特殊耐火涂层还能在多次高温循环中抵抗劣化,进一步延长绝热材料的使用寿命。
  • 多功能气氛控制: 该设备针对多种气体环境进行了优化。凭借在配备涡轮分子泵时可将真空度维持到10^-5 torr,或适应惰性气体流动的能力,它是石墨化、碳化及专门氧化研究的理想平台。

应用领域

应用 描述 主要优势
催化石墨化 在超高温下处理酚醛树脂碳和催化剂,将无定形碳转化为石墨结构。 通过卓越的热场均匀性确保Ni-Zn-B催化效率。
化学气相沉积(CVD) 在硅基底上生长高质量薄膜和3C-SiC薄膜,用于半导体应用。 对气体流量和温度梯度进行精确控制,确保膜厚一致。
陶瓷烧结 将陶瓷粉末在高温下致密化,形成高性能结构部件。 极小的热波动可防止开裂并提高材料密度。
电池材料研发 在受控惰性气氛下对电极材料进行热处理,以提升电化学性能。 通过高完整性的真空密封防止敏感粉末氧化。
半导体退火 通过受控加热改变硅晶圆及其他基底的物理和电学性能。 快速冷却能力可对掺杂剂扩散剖面进行精确控制。
航空航天复合材料 对要求严格遵循1500°C热曲线的先进合金和复合材料进行热处理。 坚固的SiC元件可为大批量样品提供所需的大功率输出。

技术规格

参数 TU-63-2(2英寸型号) TU-63-3(3英寸型号)
型号标识 TU-63-2 TU-63-3
标准氧化铝管尺寸 外径50mm x 内径40mm x 长1000mm 外径76mm x 内径67mm x 长1000mm
加热元件类型 16根SiC棒(1500级) 16根SiC棒(1500级)
最高温度 1500°C(< 1小时) 1500°C(< 1小时)
连续工作温度 1400°C 1400°C
升温速率 最大10°C/分钟(视管材而定) 最大10°C/分钟(视管材而定)
降温速率 < 5°C/分钟(氧化铝专用) < 5°C/分钟(氧化铝专用)
温度精度 +/- 1°C +/- 1°C
总加热区长度 390 mm 390 mm
恒温区长度 150 mm(+/- 2°C) 150 mm(+/- 2°C)
电压要求 208 - 240VAC 单相 208 - 240VAC 单相
功耗 6.0 KW 6.0 KW
热电偶类型 S型 S型
真空度能力 10^-2 torr(机械泵)/ 10^-5 torr(涡轮泵) 10^-2 torr(机械泵)/ 10^-5 torr(涡轮泵)
泄漏率 < 5 mtorr / min < 5 mtorr / min
压力监测 机械表(-0.1 to 0.15Mpa) 机械表(-0.1 to 0.15Mpa)
认证 CE认证(可提供UL/CSA) CE认证(可提供UL/CSA)

为何选择这款分体式管式炉

  • 经验证的长期可靠性: 采用1500级SiC加热元件和垂直棒式安装方式设计,该系统可承受连续工业使用的严苛要求而不会出现性能衰减。
  • 增强的运行安全性: 从保护用户免受热危害的集成联锁系统,到双层冷却外壳,每一项设计都优先保障研究人员的安全工作环境。
  • 精密制造标准: 采用高纯度纤维状氧化铝和特种耐火涂层,确保炉体保持热完整性,减少维护频率并降低总体拥有成本。
  • 多功能法兰设计: 智能不锈钢法兰系统专为高真空完整性和易用性而设计,可在不同气氛处理模式之间快速切换。
  • 可定制控制选项: 除标准30段PID控制外,该系统还可升级为带计算机数据记录和PC通信端口的配置,以满足现代研发实验室的特定文档记录需求。

我们的技术工程团队可协助您为独特的高温处理需求配置理想的热处理解决方案。立即联系我们,进行技术咨询或获取正式报价。

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