用于CVD研究和真空气氛热处理的高温1200℃开启式管式炉

管式炉

用于CVD研究和真空气氛热处理的高温1200℃开启式管式炉

货号: TU-GS18

最高温度: 1200°C 温度精度: ±1°C 加热元件: 康泰尔电阻丝
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产品概述

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这款高性能开启式管式热处理系统代表了紧凑型实验室炉工程的巅峰之作,专为满足材料科学研究和工业原型设计的严苛要求而打造。通过将先进的加热腔体与高精度控制接口集成,该设备为研究人员提供了一个可适应的平台,适用于气氛控制烧结、真空退火和化学气相沉积(CVD)。该系统的核心价值在于其能够在保持紧凑占地面积的同时,实现卓越的热均匀性并维持较低的外部表面温度,从而确保实验精度和操作人员的安全。

该设备专为高要求的研发环境而设计,常用于半导体开发、技术陶瓷测试和冶金研究。它在需要快速热循环的应用中表现出色;创新的开启式铰链设计允许快速接触工艺管,并有助于在运行后加速冷却。无论是在大学洁净室还是企业材料科学实验室中,该系统都能提供尖端技术进步和工艺验证所必需的可靠性和可重复结果。

作为热处理的基础工具,该装置架起了理论研究与工业生产之间的桥梁。其坚固的结构和优质的组件保证了操作寿命,使其成为专注于高温材料转化设施的重要投资。集成先进的日本隔热材料和高稳定性加热元件,确保了该炉成为适用于多种热处理方案的通用且可靠的资产。

主要特点

  • 精密开启式腔体设计: 创新的铰链配置便于工艺管和内部组件的插入与取出。该设计专为通过打开腔体实现快速冷却阶段而设计,显著提高了实验通量,并便于快速清洁或更换石英管或陶瓷管。

  • 优质康泰尔(Kanthal)加热元件: 系统采用原装康泰尔电阻丝,提供极其稳定且快速的加热,最高可达1200℃。这些优质元件因其在高温下卓越的抗氧化性和机械稳定性而被选用,确保了数千次加热循环中的性能一致性。

  • 先进的日本氧化铝纤维隔热层: 腔体由从日本进口的98%多晶氧化铝纤维制成。与传统的耐火砖相比,这种高纯度材料具有极低的热质量和卓越的隔热性能,从而实现更快的升温速率并显著降低能耗。

  • 智能PID控制接口: 炉体配备日本制造的Shimaden 40段数字控制器,允许用户编程复杂的加热曲线,包括多次升温、恒温和冷却步骤。控制器保持±1℃的严格温度精度,为敏感材料合成提供了所需的精细控制。

  • 带主动风冷功能的双层外壳: 炉体采用双层钢结构,并集成冷却风扇系统。这种工程选择保持了较低的外部表面温度,保护了实验室人员,并防止了对周围敏感分析设备的热干扰。

  • 高精度移相触发: 内部电源管理系统采用移相触发器,为加热元件提供平稳、连续的功率。这消除了与标准开关控制相关的热冲击,从而延长了康泰尔电阻丝和氧化铝纤维腔体的使用寿命。

  • 多功能气氛管理: 该装置旨在促进真空或惰性气体环境,使其成为需要高纯度条件或特定化学反应工艺的理想选择。端盖密封组件与各种真空泵系统和气体输送歧管兼容。

应用领域

应用 描述 主要优势
CVD / PECVD 研究 使用气相前驱体合成碳纳米管、石墨烯和薄膜。 出色的热均匀性,确保基底上薄膜生长的均匀性。
真空退火 在受控真空环境下消除金属和合金的内应力。 防止敏感冶金样品的氧化和污染。
气氛烧结 在惰性或还原性气体下烧结先进陶瓷或粉末金属。 精确的气氛控制确保最佳的密度和材料性能。
电池研究 锂离子电池和固态电池正负极材料的热处理。 精确的升温控制,适用于精细的化学转化。
半导体掺杂 在高温下将掺杂剂扩散到半导体晶圆中。 高重复性确保了处理部件电气特性的一致性。
材料测试 确定新化合物的热稳定性和相变点。 快速加热和冷却能力缩短了整体测试时间。
牙科烧结 高透光氧化锆及其他特种牙科陶瓷的烧结。 小腔体体积非常适合小批量精密加工。

技术规格

参数 TU-GS18-I TU-GS18-II
产品编号 TU-GS18-I TU-GS18-II
腔体管径 25mm 50mm
管长 700mm 700mm
加热区长度 205mm 205mm
最高温度 1200℃ 1200℃
连续工作温度 1100℃ 1100℃
加热速率 ≤30℃/min ≤30℃/min
推荐加热速率 ≤15℃/min ≤15℃/min
温度精度 ±1°C ±1°C
额定功率 1.5KW 1.5KW
输入电压 220V,单相 220V,单相
热电偶类型 K型 K型
加热元件 康泰尔电阻丝 康泰尔电阻丝
腔体材料 98%氧化铝纤维(日本) 98%氧化铝纤维(日本)
温度控制器 Shimaden(日本),40段 Shimaden(日本),40段
外部尺寸 340 x 290 x 415mm 340 x 290 x 415mm
触发系统 移相触发 移相触发

为什么选择高温开启式管式炉

  • 工业级可靠性: 采用优质日本隔热材料和瑞典加热技术,这些炉体专为严苛的工业研发和学术研究环境中的连续运行而设计。
  • 卓越的热效率: 使用低热质量多晶氧化铝纤维,确保能量集中在加热区而非外壳上,提供行业内最快的加热时间。
  • 实现可重复科学研究的精密控制: 以日本Shimaden PID控制器为核心,系统保证您的加热曲线在每次运行中都能被精确执行,这对于同行评审研究和质量控制工业流程至关重要。
  • 紧凑且安全的设计: 双层风冷结构使这款高温炉可以安全地放置在标准实验室工作台上,而不会使周围的工作空间过热。
  • 可定制配置: 我们提供多种真空法兰、气体混合系统和多区配置,以根据您的特定材料合成要求定制该系统。

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