1500°C 双温区开启式管式炉(带真空法兰及80mm氧化铝管)

管式炉

1500°C 双温区开启式管式炉(带真空法兰及80mm氧化铝管)

货号: TU-64

最高工作温度: 1500°C 工艺管尺寸: 80 mm 外径 x 1000 mm 长 氧化铝 温度控制: 双区PID,带30段程序控制
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产品概述

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该高温热处理系统代表了实验室和工业研究设施在精确气氛和温度控制方面的工程巅峰。该设备采用双温区开启式管式结构,为先进材料合成、化学气相沉积(CVD)和复杂的烧结工艺提供了一个多功能平台。通过采用铰链式开启结构,用户可以轻松接触反应腔体,便于快速更换处理管,并适应涉及预组装组件或精细样品定位的复杂实验设置。其核心价值在于能够利用稳健的碳化硅加热技术,在高达1500°C的温度下保持高稳定性的热环境。

该系统旨在冶金、半导体开发和航空航天材料测试等关键领域发挥重要作用。它提供了卓越的灵活性,使用户能够在真空密封环境和受控气体气氛之间进行切换,且停机时间极短。双温区配置允许根据热处理周期的具体要求,创建复杂的热梯度或保持较长的均匀温区。这种适应性使其成为研究人员在严苛且可重复的条件下探索高温化学和物理边界的基础工具。

可靠性是该炉体设计的核心。设备采用优质S型热电偶和先进的PID仪表,即使在1400°C下长时间连续运行,也能确保性能的一致性。坚固的不锈钢真空密封法兰和高纯度氧化铝处理管因其耐用性和抗热震性而被选用,确保了在严苛的研发环境中拥有较长的使用寿命。每一个组件都经过精心集成,以提供一个稳定、安全且高度可控的热环境,满足现代工业采购团队和材料科学家的严苛标准。

主要特点

  • 开启式处理腔体:创新的开启式设计使炉体可沿纵向打开,无需拆卸复杂的气路或真空管线即可直接接触氧化铝管,方便样品装载、清洁和快速冷却。
  • 独立双温区热控制:两个独立的加热区,每个区域均配备专用的PID控制器和S型热电偶,能够创建特定的温度梯度,或为更大规模的生产需求提供扩展的均匀温区。
  • 高性能碳化硅加热元件:系统由16根1500°C级碳化硅棒驱动,在高温下实现快速升温速率和长期稳定性,在氧化性或严苛环境中表现优于标准金属加热元件。
  • 精密PID仪表:双30段可编程控制器允许对升温速率、保温时间和冷却曲线进行精确管理,并内置过热和热电偶断路保护,以确保工艺完整性。
  • 先进的真空和气氛能力:配备带集成阀门和压力表的不锈钢真空密封法兰,系统在配合分子泵使用时真空度可达10E-5 torr,并能够处理受控气体流量。
  • 高纯度氧化铝处理管:标准的80mm外径陶瓷管专为高温结构完整性而设计,为洁净室级工艺提供优异的化学耐受性和热稳定性。
  • 全面的安全系统:该装置包括超温报警和自动关机功能,便于无人值守操作,同时保护操作人员和敏感样品免受热偏移的影响。
  • PC通讯与远程监控:内置RS485通讯端口,可与外部软件(可选)无缝集成,实现数据记录、远程配方管理和实时工艺绘图,以进行质量控制。

应用领域

应用 描述 主要优势
化学气相沉积 (CVD) 在真空下于基底上沉积高质量薄膜和碳纳米管。 精确的温度梯度控制,确保管长范围内薄膜生长的均匀性。
陶瓷烧结 将先进陶瓷粉末高温固结为致密的结构部件。 稳定的1500°C能力,确保陶瓷材料达到最大密度和强度。
半导体退火 生长后的热处理,用于修复晶格并激活硅或SiC晶圆中的掺杂剂。 受控的冷却速率和高纯度气氛,防止污染和缺陷。
气氛材料合成 在惰性或还原性气体下处理材料,以研究化学反应和相变。 集成带3 PSI安全监控的气体法兰,实现精确的气氛成分控制。
梯度热处理 专门针对样品的不同部位以不同速率进行冷却或加热,用于冶金分析。 双温区独立性允许创建尖锐、可重复的热梯度。
电池研究 锂离子技术电极材料(阳极/阴极)的煅烧和热处理。 80mm管径提供大容量处理能力,且双温区内热均匀性一致。

技术规格

参数组 规格详情 技术参数 (TU-64)
电源系统 电源输入 6 KW
工作电压 208V - 240V AC, 单相, 50/60Hz
推荐断路器 40 安培
热性能 最高工作温度 1500°C (短时间)
连续工作温度 1400°C
推荐升温速率 ≤ 5°C/分钟
温度精度 +/- 1°C
均匀温区 (双区同步) 200 mm (+/- 2°C)
加热配置 加热元件 16根碳化硅棒 (14mm直径 x 150mm加热长度)
热电偶 2支内置S型
加热区长度 总计390 mm (两个200mm温区,含20mm间距)
管材与法兰 标准管材 氧化铝陶瓷管
标准管尺寸 80 mm 外径 x 74 mm 内径 x 1000 mm 长度
可选管材 莫来石 (真空下最高1300°C)
真空法兰材质 不锈钢,带双阀门和压力表
环境控制 真空度 (机械泵) 10E-2 Torr
真空度 (分子泵) 10E-5 Torr
最大气体压力 < 0.02 Mpa / 0.2 Bar / 3 PSI
控制界面 编程 PID自动,每区30段
数据通讯 RS485端口 (可选配PC/WiFi控制)
安全功能 超温报警,热电偶断路保护

为何选择此款管式炉

  • 双温区精密工程:该装置的双温区配置为研究人员提供了管理复杂热曲线的罕见能力,使其在梯度敏感实验中远胜于标准的单温区炉。
  • 卓越的热效率与耐用性:通过使用高级碳化硅加热元件和优质氧化铝陶瓷管,该系统旨在经受24/7工业研发的严苛考验,且性能不会显著下降。
  • 无缝集成与可扩展性:凭借内置的RS485通讯和可选的基于PC的LabVIEW控制系统,该炉可集成到更大的自动化实验室网络中,实现配方管理和数据可追溯性。
  • 安全第一的操作设计:从3 PSI泄压监控到自动超温关机,系统的每一个方面都旨在确保在长时间热循环过程中的安心使用。
  • 合规性验证与支持:所有设备均通过CE认证并按照国际标准制造,并由我们的响应式技术支持团队提供支持,能够为特定的气体输送或真空要求提供定制化服务。

如需涉及独特管径、集成气体输送系统或特殊真空泵站的定制配置,请联系我们的技术销售团队获取详细报价和项目咨询。

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