产品概述

该高温热处理系统代表了实验室和工业研究设施在精确气氛和温度控制方面的工程巅峰。该设备采用双温区开启式管式结构,为先进材料合成、化学气相沉积(CVD)和复杂的烧结工艺提供了一个多功能平台。通过采用铰链式开启结构,用户可以轻松接触反应腔体,便于快速更换处理管,并适应涉及预组装组件或精细样品定位的复杂实验设置。其核心价值在于能够利用稳健的碳化硅加热技术,在高达1500°C的温度下保持高稳定性的热环境。
该系统旨在冶金、半导体开发和航空航天材料测试等关键领域发挥重要作用。它提供了卓越的灵活性,使用户能够在真空密封环境和受控气体气氛之间进行切换,且停机时间极短。双温区配置允许根据热处理周期的具体要求,创建复杂的热梯度或保持较长的均匀温区。这种适应性使其成为研究人员在严苛且可重复的条件下探索高温化学和物理边界的基础工具。
可靠性是该炉体设计的核心。设备采用优质S型热电偶和先进的PID仪表,即使在1400°C下长时间连续运行,也能确保性能的一致性。坚固的不锈钢真空密封法兰和高纯度氧化铝处理管因其耐用性和抗热震性而被选用,确保了在严苛的研发环境中拥有较长的使用寿命。每一个组件都经过精心集成,以提供一个稳定、安全且高度可控的热环境,满足现代工业采购团队和材料科学家的严苛标准。
主要特点
- 开启式处理腔体:创新的开启式设计使炉体可沿纵向打开,无需拆卸复杂的气路或真空管线即可直接接触氧化铝管,方便样品装载、清洁和快速冷却。
- 独立双温区热控制:两个独立的加热区,每个区域均配备专用的PID控制器和S型热电偶,能够创建特定的温度梯度,或为更大规模的生产需求提供扩展的均匀温区。
- 高性能碳化硅加热元件:系统由16根1500°C级碳化硅棒驱动,在高温下实现快速升温速率和长期稳定性,在氧化性或严苛环境中表现优于标准金属加热元件。
- 精密PID仪表:双30段可编程控制器允许对升温速率、保温时间和冷却曲线进行精确管理,并内置过热和热电偶断路保护,以确保工艺完整性。
- 先进的真空和气氛能力:配备带集成阀门和压力表的不锈钢真空密封法兰,系统在配合分子泵使用时真空度可达10E-5 torr,并能够处理受控气体流量。
- 高纯度氧化铝处理管:标准的80mm外径陶瓷管专为高温结构完整性而设计,为洁净室级工艺提供优异的化学耐受性和热稳定性。
- 全面的安全系统:该装置包括超温报警和自动关机功能,便于无人值守操作,同时保护操作人员和敏感样品免受热偏移的影响。
- PC通讯与远程监控:内置RS485通讯端口,可与外部软件(可选)无缝集成,实现数据记录、远程配方管理和实时工艺绘图,以进行质量控制。
应用领域
| 应用 | 描述 | 主要优势 |
|---|---|---|
| 化学气相沉积 (CVD) | 在真空下于基底上沉积高质量薄膜和碳纳米管。 | 精确的温度梯度控制,确保管长范围内薄膜生长的均匀性。 |
| 陶瓷烧结 | 将先进陶瓷粉末高温固结为致密的结构部件。 | 稳定的1500°C能力,确保陶瓷材料达到最大密度和强度。 |
| 半导体退火 | 生长后的热处理,用于修复晶格并激活硅或SiC晶圆中的掺杂剂。 | 受控的冷却速率和高纯度气氛,防止污染和缺陷。 |
| 气氛材料合成 | 在惰性或还原性气体下处理材料,以研究化学反应和相变。 | 集成带3 PSI安全监控的气体法兰,实现精确的气氛成分控制。 |
| 梯度热处理 | 专门针对样品的不同部位以不同速率进行冷却或加热,用于冶金分析。 | 双温区独立性允许创建尖锐、可重复的热梯度。 |
| 电池研究 | 锂离子技术电极材料(阳极/阴极)的煅烧和热处理。 | 80mm管径提供大容量处理能力,且双温区内热均匀性一致。 |
技术规格
| 参数组 | 规格详情 | 技术参数 (TU-64) |
|---|---|---|
| 电源系统 | 电源输入 | 6 KW |
| 工作电压 | 208V - 240V AC, 单相, 50/60Hz | |
| 推荐断路器 | 40 安培 | |
| 热性能 | 最高工作温度 | 1500°C (短时间) |
| 连续工作温度 | 1400°C | |
| 推荐升温速率 | ≤ 5°C/分钟 | |
| 温度精度 | +/- 1°C | |
| 均匀温区 (双区同步) | 200 mm (+/- 2°C) | |
| 加热配置 | 加热元件 | 16根碳化硅棒 (14mm直径 x 150mm加热长度) |
| 热电偶 | 2支内置S型 | |
| 加热区长度 | 总计390 mm (两个200mm温区,含20mm间距) | |
| 管材与法兰 | 标准管材 | 氧化铝陶瓷管 |
| 标准管尺寸 | 80 mm 外径 x 74 mm 内径 x 1000 mm 长度 | |
| 可选管材 | 莫来石 (真空下最高1300°C) | |
| 真空法兰材质 | 不锈钢,带双阀门和压力表 | |
| 环境控制 | 真空度 (机械泵) | 10E-2 Torr |
| 真空度 (分子泵) | 10E-5 Torr | |
| 最大气体压力 | < 0.02 Mpa / 0.2 Bar / 3 PSI | |
| 控制界面 | 编程 | PID自动,每区30段 |
| 数据通讯 | RS485端口 (可选配PC/WiFi控制) | |
| 安全功能 | 超温报警,热电偶断路保护 |
为何选择此款管式炉
- 双温区精密工程:该装置的双温区配置为研究人员提供了管理复杂热曲线的罕见能力,使其在梯度敏感实验中远胜于标准的单温区炉。
- 卓越的热效率与耐用性:通过使用高级碳化硅加热元件和优质氧化铝陶瓷管,该系统旨在经受24/7工业研发的严苛考验,且性能不会显著下降。
- 无缝集成与可扩展性:凭借内置的RS485通讯和可选的基于PC的LabVIEW控制系统,该炉可集成到更大的自动化实验室网络中,实现配方管理和数据可追溯性。
- 安全第一的操作设计:从3 PSI泄压监控到自动超温关机,系统的每一个方面都旨在确保在长时间热循环过程中的安心使用。
- 合规性验证与支持:所有设备均通过CE认证并按照国际标准制造,并由我们的响应式技术支持团队提供支持,能够为特定的气体输送或真空要求提供定制化服务。
如需涉及独特管径、集成气体输送系统或特殊真空泵站的定制配置,请联系我们的技术销售团队获取详细报价和项目咨询。
获取报价
我们的专业团队将在一个工作日内回复您。请随时与我们联系!
相关产品
1500℃高温开启式管式炉,用于材料研究、真空及气氛热处理
这款1500℃高温开启式管式炉为先进材料研究和工业烧结应用提供精确的热处理方案,采用双层壳体结构、集成PID控制及真空不锈钢法兰,在严苛的实验室环境下表现可靠。
1200°C高温分体式管式炉,配铰链式真空法兰及4英寸石英管,适用于实验室研究
这款1200°C分体式管式炉配备铰链式真空法兰和4英寸石英管,旨在简化样品装载流程。专为精密热处理设计,为先进材料科学和工业研发应用提供卓越的温度均匀性和真空性能。
1200°C 双温区开启式管式炉,配熔融石英管及真空法兰,提供 60mm、80mm 和 100mm 直径可选
这款 1200°C 双温区开启式管式炉具备独立的温度控制功能,可实现精确的热梯度,助力材料研究。配备熔融石英管和真空密封法兰,是先进 CVD(化学气相沉积)和纳米材料合成的理想解决方案。
1250℃分体式管式炉,配备3英寸莫来石管与真空密封法兰,用于精密热处理
这款1250℃分体式管式炉配备3英寸莫来石管和真空密封法兰,适用于高端研发场景。专为材料科学设计,可提供精准PID控制、高纯隔热性能,以及在真空或可控气氛环境下的可靠运行表现,属于专业级设备。
1200°C 双温区紧凑型开启式管式炉(可选配 1" - 2" 石英管及真空法兰)
这款 1200°C 双温区紧凑型开启式管式炉提供精确的温度梯度控制和真空处理能力。专为材料科学研发设计,配备独立 PID 控制器、不锈钢法兰和节能纤维绝缘层,确保实验室操作的一致性与高效表现。
用于先进气氛烧结和真空CVD应用的高温双温区开启式管式炉
利用这款高精度1400°C双温区开启式管式炉提升您的材料研究水平。它具有独立的温度控制、气氛烧结能力和卓越的热稳定性,是先进CVD实验和工业热处理项目的理想解决方案。
双温区快速加热管式炉 高温真空气氛系统
这款高性能双温区快速加热管式炉最高温度可达1200℃,升温速率高达每分钟100℃,配备精密PID控制及真空气氛功能,适用于先进材料研究、烧结及化学气相沉积应用。
用于高温CVD和真空退火的双温区双盖管式炉
专业的高温双温区管式炉,采用Kanthal A1加热元件和先进的PID控制系统,适用于科研及工业应用。该系统为CVD、真空退火和材料烧结提供精确的热处理,并具备卓越的可靠性。
双区管式炉1100℃,配11英寸石英管与真空法兰,用于8英寸晶圆加工
这款先进的高温双区管式炉配置11英寸石英管和24英寸加热区,可提供出色的热均匀性,适用于工业和实验室领域的8英寸晶圆退火、材料烧结以及特种化学气相沉积研究。
高温 1600°C 分体式管式炉,可选配真空法兰及阀门,支持 60mm/80mm 刚玉管
高性能 1600°C 分体式管式炉,配备真空法兰、阀门及精密 PID 控制系统。该工业级设备支持 60mm 或 80mm 刚玉管,适用于先进材料研发中的气氛控制热处理及高真空处理环境。
1200°C 高温 5 英寸分体式真空管式炉,配有 12 英寸加热区及分离式 PID 控制器
这款高性能 1200°C 分体式真空管式炉可实现精密热处理。系统配备 5 英寸大口径石英管、12 英寸加热区及分离式 PID 控制器,并获得 NRTL 认证,可为先进材料研究及工业研发应用提供可靠的实验结果。
用于材料研究与工业热处理的高温加长双温区管式炉
这款高性能加长双温区管式炉可助力您的材料研究。设备采用瑞典 Kanthal A1 发热元件及先进的 PID 控制技术,在 1200°C 以下可确保卓越的温度均匀性,非常适合现代工程领域中严苛的实验室及工业研发处理应用。
1200℃对开式立式管式炉,配备石英管与不锈钢真空法兰,适用于快速热处理
这款1200℃对开式立式管式炉配备5英寸石英管与精密PID控制,可用于快速淬火、真空处理与先进材料合成,满足高要求工业实验室环境需求,最大化提升研究效率。
用于工业热处理和材料科学研究的加长型双温区管式炉
这款加长型双温区管式炉采用瑞典康泰尔(Kanthal)A1加热元件和先进的PID控制系统,可实现精确的材料研究。该设备提供真空和气氛选项,为严苛的工业实验室热处理应用提供卓越的温度均匀性和可靠性。
带氧化铝管和水冷法兰的1700C高温六温区分体式管式炉
专为材料研究和工业气相沉积应用而设计的精密1700C六温区分体式管式炉。该多功能系统提供独立的温区温度控制和可直接进行真空操作的法兰,满足稳定热处理和先进材料开发需求,确保卓越性能。
六温区开启式管式炉(带氧化铝管及真空法兰),适用于1500°C高温热处理及CVD工艺
这款1500°C六温区开启式管式炉为专业实验室研究和高温CVD应用提供了卓越的热控性能。设备配备1800mm氧化铝管及精确的30段PID控制器,确保材料处理和退火结果的一致性。
1200°C 十温区开启式管式炉,支持水平与垂直安装,适用于多温区热梯度及大直径材料加工
先进的1200°C十温区开启式管式炉系统,通过十个独立的加热区提供无与伦比的热梯度控制,支持水平或垂直灵活安装。专为精确的工业模拟、材料合成及高性能实验室研发热处理应用而设计,具有卓越的可靠性。
七温区 1200°C 开合式管式炉,配备精密温度控制器及快速法兰真空系统
一款专为材料研究设计的专业级七温区 1200°C 开合式管式炉,配备 5 英寸石英管、精密 PID 控制器及快速法兰,适用于真空或受控气氛环境下的快速热处理。高性能研发热处理解决方案。
三温区加热分体式立式管式炉 1700 高温真空气氛热处理系统
面向工业研发和材料科学应用的先进 1700°C 三温区加热分体式立式管式炉。该高精度系统具备独立温控、高真空能力以及高效节能隔热,可实现稳定的高温处理和快速样品淬冷结果。
带可选石英管和真空法兰系统的24英寸三温区分体管式炉,适用于高温材料合成
采用这款高端24英寸三温区分体管式炉,加速您的材料研究。它具备独立温控、兼容石英管以及真空密封法兰,可在高达1200°C的条件下提供精确热处理,满足严苛的实验室和工业研发应用需求。