产品概述
这款高性能分体式管式炉代表了紧凑型、节能型热处理技术的巅峰。该系统专为精度和多功能性而设计，最高工作温度可达 1200°C，是材料科学实验室和工业研发中心的必备工具。分体式铰链设计便于快速冷却以及样品的轻松装卸，而大直径石英管可容纳直径达 4 英寸的基片。通过集成先进的隔热材料和分离式控制模块，该设备在严苛环境下展现出卓越的热稳定性和长期运行可靠性。
为满足现代研究的严苛要求，该设备被广泛用于退火、烧结和化学气相沉积 (CVD) 工艺。其在高真空或受控大气条件下运行的能力，为研究人员提供了合成二维材料、进行半导体晶圆加工以及执行复杂热处理所需的灵活性。分离式控制器架构确保了敏感电子元件免受炉体高温的影响，从而显著延长了电子设备的使用寿命，并确保在数千次循环中保持性能的一致性。
可靠性是该系统工程设计的核心。所有电气元件均通过 NRTL 认证，确保符合实验室使用的严格安全标准。炉体采用双层钢结构，结合高纯度 Al2O3 纤维隔热材料和耐火陶瓷涂层，最大限度地减少热量损失并实现节能效果。这种稳固的制造质量确保了设备在保持内部温度均匀精确的同时，外部触感依然凉爽，为技术人员和科学家提供了一个安全且高效的工作空间。
主要特点
- 精密分体式铰链设计：炉体采用分体式开启机构，可实现快速取样和加速冷却阶段，显著提高实验室处理能力和实验灵活性。
- 大直径石英加工管：配备 5 英寸 (130mm) 外径的高纯度石英管，能够加工大型基片，包括直径达 4 英寸的半导体晶圆，且不会影响热均匀性。
- 分离式数字控制模块：30 段可编程 PID 控制器安装在独立的机箱中，将关键电子元件与炉体的热辐射隔离开来，以确保最高精度和设备寿命。
- 高效纤维隔热材料：采用带有特殊氧化铝涂层的高纯度 Al2O3 纤维隔热材料，与传统耐火材料相比，该炉实现了更高的能源效率和更长的使用寿命。
- 先进真空密封系统：一对 304 不锈钢真空法兰配有双层高温硅胶 O 型圈，提供了可靠的密封性，使用标准机械泵可实现低至 10-2 Torr 的真空度。
- 集成安全与认证：系统具有内置的超温和热电偶故障保护功能，所有电气部件均带有 NRTL 认证，符合工业和学术实验室的最高安全标准。
- 灵活的气体与真空管理：标准的 KF25 接口和 1/4 英寸倒钩接头可实现与真空泵和供气系统的无缝连接，支持静态和流动气氛工艺。
- 卓越的加热元件：掺钼的铁铬铝 (Fe-Cr-Al) 合金元件可提供高达 1200°C 的稳定且一致的加热，确保了重复高温循环所需的耐用性。
应用领域
| 应用 | 描述 | 主要优势 |
|---|---|---|
| 半导体晶圆退火 | 对硅或化合物半导体晶圆进行高温处理，以改变其电学性能。 | 可容纳最大 4 英寸晶圆，具有卓越的热均匀性。 |
| 二维材料合成 | 通过 CVD 或热处理合成石墨烯、MoS2 及其他薄膜材料。 | 精确的流量控制和真空完整性确保了高质量的薄膜生长。 |
| 陶瓷烧结 | 在真空或惰性气体下将陶瓷粉末压块固结成致密、高强度的组件。 | 分体式设计便于装载易碎的生坯。 |
| 大气煅烧 | 在受控气体环境中加热矿物或化学物质，以驱除挥发性成分。 | 灵活的气体进/出口允许进行精确的化学反应。 |
| 真空除气 | 从特种合金或复合材料中去除截留气体，以提高结构完整性。 | 高性能法兰在整个循环过程中保持稳定的真空度。 |
| 电池材料研究 | 在惰性气氛中对正极和负极材料进行热处理，以优化电化学性能。 | 均匀的 12 英寸加热区提供了一致的材料特性。 |
| 涂层应力消除 | 消除施加在金属或陶瓷基材上的特种涂层的内部应力。 | 可编程冷却速率可防止热冲击和涂层剥落。 |
| 催化剂制备 | 在特定气体流量条件下对催化材料进行热活化。 | 分离式控制器允许安全地集成在实验室通风橱内。 |
技术规格
| 参数 | TU-22 规格 |
|---|---|
| 最高工作温度 | 1200°C (< 1 小时) |
| 连续工作温度 | 1100°C |
| 加热区长度 | 12 英寸 (300 mm) |
| 恒温区 | 100 mm (±1ºC) / 140 mm (±2ºC) |
| 管材及尺寸 | 高纯度石英；5" 外径 x 4.7" 内径 x 29.5" 长 (130 x 120 x 750 mm) |
| 加热元件 | 掺钼铁铬铝 (Fe-Cr-Al) 合金 |
| 最大升温速率 | ≤ 20°C/min |
| 温度精度 | ± 1°C |
| 温度控制 | 通过固态继电器进行 PID 30 段可编程控制 |
| 炉体结构 | 双层钢结构，配高纯度 Al2O3 纤维隔热材料 |
| 功率 / 电压 | 3 KW / 220VAC 50/60Hz |
| 真空度 | 10-2 Torr (使用机械泵) |
| 真空法兰 | 304 不锈钢，带双硅胶 O 型圈；含 KF25 接口 |
| 压力监测 | 标准机械压力表 (-0.1 至 0.15 Mpa) |
| 配件 | 1/4 英寸进气倒钩接头；KF25 真空排气口 |
| 认证 | 电气元件获 NRTL 认证 |
| 可选升级 | PC 控制模块、Eurotherm 控制器、数字真空计、水冷法兰 |
为何选择 TU-22
- 无与伦比的热精度：30 段可编程 PID 控制器与优质铁铬铝合金加热元件的结合，确保您的实验具有可重复性，精度控制在 ±1°C 以内。
- 针对高通量优化：分体式炉设计对于繁忙的实验室来说是一项关键优势，它允许快速自然冷却并简化了批次间样品的更换过程。
- 稳固的安全工程：凭借 NRTL 认证以及超温和热电偶故障警报等先进保护功能，该系统专为专业环境下的安全无人值守运行而设计。
- 面向未来的多功能性：TU-22 的模块化设计允许进行大量的定制，包括基于 PC 的控制、高精度 Eurotherm 控制器以及用于长时间高温工作的水冷法兰。
- 工业级制造质量：从高纯度氧化铝涂层耐火陶瓷到 304 不锈钢真空组件，该炉的每一个方面都旨在实现长期耐用性和最低维护需求。
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