产品概述
这套高性能热处理系统专为先进材料科学研究和工业研发应用而设计，适用于需要精确气氛控制和卓越热均匀性的场景。通过采用可分体式炉腔设计，该设备可实现快速取放样品，并可无缝集成复杂实验装置，而不会干扰已对准的管式部件。该机型可在高达1200°C的温度下运行，是高要求合成和退火工艺的重要工具。
该系统主要用于半导体制造、冶金实验室和纳米技术中心，在这些场景中，对热梯度的精确控制至关重要。其三温区配置可在较长的加热长度上实现独立温度管理，为研究人员提供构建特定生长环境或维持较长恒温区的灵活性。这种适应性使设备既能胜任简单烧结，也能胜任复杂的化学气相沉积（CVD）流程。
该炉采用双层钢制机壳和高纯度纤维状氧化铝保温材料，在严苛条件下仍具备可靠性。配备冷却风扇可确保外壳表面温度较低，保障操作人员安全，而坚固的加热元件则专为长期稳定运行而设计。无论是在高真空还是特定气体气氛下运行，该设备都能在高要求工业环境中提供可重复科学结果所需的稳定性和精度。
主要特点
- 独立多温区热控：加热炉腔分为三个独立的300mm温区，每个温区由各自的数字控制器管理，可实现精确热梯度，或形成显著延长的625mm恒温区。
- 高精度PID调节：三台基于微处理器的自整定PID控制器可提供±1°C的精度，确保处理温度稳定，并在敏感升温过程中防止过冲。
- 创新分体式炉腔结构：可分体设计便于清洁、快速冷却和简化管材更换，尤其适用于涉及精细样品放置的复杂实验装置。
- 先进气氛密封性：配备SS 304不锈钢真空密封法兰和双高温硅胶O形圈，系统可维持高真空度（配合涡轮分子泵可达10-5 torr），并支持多种气体环境。
- 优质加热元件：采用掺钼Fe-Cr-Al合金加热元件，炉体可在高达1100°C的温度下实现高效传热和出色耐久性，适合连续运行。
- 坚固安全设计：集成超温保护和热电偶断偶报警功能，可支持无人值守运行；分体式炉盖还配有联锁保护，确保打开炉体时自动断电。
- 节能保温：采用高纯度纤维状氧化铝保温材料，最大限度减少热损失并降低功耗；双层钢壳配合冷却风扇可维持安全的外壳温度。
- 高级程序设置：每个温控器均具备30段可编程功能，用户可定义复杂的升温、降温和保温曲线，用于精密材料转化工艺。
应用领域
| 应用 | 说明 | 主要优势 |
|---|---|---|
| 二维材料合成 | 采用特定热处理阶段和气体流量合成Ta和Nb掺杂的MoS2。 | 可精确控制边缘结构和掺杂密度。 |
| 纳米线生长 | 为Ga2O3独立设定退火（400°C）和生长（700-860°C）阶段。 | 优化催化剂合金化和轴向生长形貌。 |
| 扩散退火 | 在1000°C下对Fe-Ni-Cu合金进行高温均匀化处理。 | 通过热均匀性消除扩散速率偏差。 |
| 先进陶瓷烧结 | 在真空或惰性气体下对陶瓷前驱体进行受控热处理。 | 防止氧化并确保获得高密度材料结果。 |
| CVD / PECVD工艺 | 作为薄膜化学气相沉积的热反应器使用。 | 整个沉积区域内保持稳定温度场。 |
| 冶金研究 | 需要快速冷却和精确保温时间的相变研究。 | 分体设计便于快速淬冷和轻松取样。 |
| 半导体掺杂 | 在受控纯度条件下将掺杂剂扩散到硅片或其他基底中。 | 高等级石英和SS法兰维持洁净环境。 |
技术规格
| 参数 | TU-36-80 | TU-36-101 | TU-36-125 |
|---|---|---|---|
| 石英管尺寸（外径 x 内径 x 长度） | 80 x 72 x 1400 mm | 101 x 92 x 1400 mm | 130 x 120 x 1400 mm |
| 最高加热温度 | 1200°C | 1200°C | 1200°C |
| 连续工作温度 | 1100°C | 1100°C | 1100°C |
| 最高温度（真空） | 1000°C | 1000°C | 1000°C |
| 加热区长度 | 900 mm（300mm x 3） | 900 mm（300mm x 3） | 900 mm（300mm x 3） |
| 恒温区长度 | 625 mm（25"） | 625 mm（25"） | 625 mm（25"） |
| 温度精度 | ± 1°C | ± 1°C | ± 1°C |
| 升温速率（最大） | 20°C / min | 20°C / min | 20°C / min |
| 电压 | 208-240V 单相 | 208-240V 单相 | 208-240V 单相 |
| 最大功率 | 7.0 KW | 7.0 KW | 7.0 KW |
| 温度控制器 | 3x 30段PID | 3x 30段PID | 3x 30段PID |
| 真空度 | 10-2 至 10-5 Torr | 10-2 至 10-5 Torr | 10-2 至 10-5 Torr |
| 法兰材质 | SS 304 | SS 304 | SS 304 |
| 通信接口 | RS-485 | RS-485 | RS-485 |
| 合规性 | CE认证 | CE认证 | CE认证 |
为何选择我们的三温区分体式管式炉
- 经验证的热均匀性：通过采用三个独立控制的加热区，该系统相比单温区替代方案，可提供更长且更稳定的均匀温度区域，确保大批量处理时结果一致。
- 工业级可靠性：采用优质Fe-Cr-Al元件和双层钢制机架打造，适用于24/7工业和科研运行，通过长期耐用性降低总体拥有成本。
- 精密工程设计：微处理器自整定PID控制器的集成确保即使是最复杂的30段热处理曲线也能以±1°C的精度执行，这对高纯度合成至关重要。
- 灵活集成：可选配PC控制、Eurotherm控制器以及多种真空泵配置，这款炉子可根据任何材料科学工作流程的具体要求进行定制。
- 安全与合规：标准配置包括超温报警、热电偶失效保护和CE认证，确保设备符合实验室使用的国际安全标准。
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