用于先进材料科学烧结与化学气相沉积应用的高温三温区管式炉

管式炉

用于先进材料科学烧结与化学气相沉积应用的高温三温区管式炉

货号: TU-GS05

最高温度: 1700°C 加热区: 3个独立区域 控制精度: ±1°C
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产品概述

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这款高性能三温区热系统是材料科学与工业研发领域精密工程的巅峰之作。设备集成三个独立控温的加热段,可形成超长且稳定的恒温区,也可构建精确的温度梯度。本设备设计最高可在1700℃温度下稳定运行,是对热均匀性有严格要求的高要求烧结、退火和化学气相沉积(CVD)工艺的核心设备。

该设备面向高校、科研院所和工业实验室设计,可为还原气氛、真空条件和高纯材料处理实验提供稳定通用的实验环境。双壳体结构结合先进保温技术,可确保内膛达到极端高温时,外壳仍保持触摸冷却,充分保障操作人员安全,提升实验室工作效率。本设备可在严苛的热循环中始终输出一致、可重复的结果,为复杂科学突破提供所需的可靠性保障。

为实现长期稳定运行,本设备采用高品质硅钼加热元件与进口氧化铝多晶纤维保温材料。这些元件在高温下具备出色的热稳定性与抗收缩性能。无论是用于碳纳米管生产、特种合金退火还是先进陶瓷烧结,这款管式炉都能满足现代工业与学术热处理应用对可靠性与精度性能的要求。

核心特点

  • 三温区独立控温:本系统配备三个独立加热区,每个加热区均搭载独立的高精度PID控制器。该结构可帮助用户补偿管端热损失,或生成特定温度曲线,相比单温区设备可获得宽得多的恒温区。
  • 优质1800级硅钼棒元件:设备采用特殊定制的14mm厚度加热元件。与行业标准12mm热端相比,14mm热端可降低表面负载,显著延长使用寿命,提升连续高温运行下的性能稳定性。
  • 先进移相软启动触发:集成触发系统带有限流与软启动功能。启动过程中 gradual 提升电流,降低对加热元件的冲击,并将二次电流限制在170A以内,避免快速升温过程中设备损坏与电路跳闸。
  • 高纯多晶氧化铝纤维保温:炉膛采用真空吸附滤成型工艺,热容低、导热系数小。这项日本技术可实现高反射率与优异保温性能,带来更快升温速度与更高能源效率。
  • 完善的真空与气氛控制:设备两端均配备不锈钢法兰,支持10 Pa至10⁻³ Pa的多种真空度。内置针阀、压力表,可选配水冷法兰或铰接法兰,可实现内部环境的精确控制。
  • 可编程控制逻辑:系统采用日本岛电仪表,最多支持40段可编程程序。支持低、中、高温分段分组PID控制,全工作区间精度可达±1℃。
  • 完善的安全监控架构:集成空气开关与漏电保护器,可在电气故障时自动断电。设备还带有超温保护功能,支持通过RS485连接电脑,实现实时数据记录与远程参数管理。
  • 更长的元件使用寿命:加热元件冷端长度达210mm,比标准设计更长,可确保接线处温度更低,降低电气系统热应力,提升设备整体使用寿命。

应用领域

应用场景 说明 核心优势
CVD / PECVD 用于薄膜生长与半导体研究的化学气相沉积工艺。 精确梯度控制,保证气体反应均匀性。
碳纳米管合成 在碳纤维束或衬底上大规模生长纳米管。 扩大恒温区范围,保证生长密度一致。
合金退火 Fe-Ni-Cu合金1000℃均匀化扩散退火。 消除梯度导致的扩散偏差。
氮掺杂 为大尺寸衬底掺杂工艺提供可控反应动力学。 维持一致的形貌与结晶度。
工业陶瓷 先进陶瓷材料与高纯氧化铝部件烧结。 高温稳定性好,收缩控制均匀。
真空热处理 惰性或还原气氛下的高纯退火与烧结。 最高支持10⁻³ Pa真空,避免氧化。
电池材料研发 正负极材料合成与煅烧。 重复稳定性好,满足循环寿命测试要求。
牙科研究 高强度牙科氧化锆与陶瓷的烧结热处理。 控制精度高,成品表面光滑度好。

技术参数

参数 TU-GS05-I TU-GS05-II TU-GS05-III
炉管外径 60 mm 80 mm 100 mm
炉管长度 1500 mm 1500 mm 1500 mm
最高温度 1700 °C 1700 °C 1700 °C
额定温度 1650 °C 1650 °C 1650 °C
额定功率 10 KW 10 KW 10 KW
加热区 3区(独立控温) 3区(独立控温) 3区(独立控温)
加热长度(总) 单区210 mm 单区210 mm 单区210 mm
恒温区长度 80 - 100 mm 80 - 100 mm 80 - 100 mm
输入电压 380V 380V 380V
相数 三相 三相 三相
加热元件 1800型硅钼棒 1800型硅钼棒 1800型硅钼棒
控制系统 FP93 PID(日本) FP93 PID(日本) FP93 PID(日本)
控制精度 ±1 °C ±1 °C ±1 °C
热电偶类型 B型 B型 B型
升温速率 ≤20 °C/min(可调) ≤20 °C/min(可调) ≤20 °C/min(可调)
炉膛材料 氧化铝多晶纤维 氧化铝多晶纤维 氧化铝多晶纤维
真空能力 最高10⁻³ Pa(可选) 最高10⁻³ Pa(可选) 最高10⁻³ Pa(可选)
外壳温度 ≤45 °C ≤45 °C ≤45 °C
通讯接口 RS485(标配) RS485(标配) RS485(标配)

为什么选择三温区管式炉

  • 无与伦比的热均匀性:三温区结构可主动补偿端区热损失,相比标准单温区型号可获得更长、更稳定的均匀温区。
  • 长寿命设计:配备14mm厚硅钼棒与限流移相触发器,可承受工业规模使用强度,减少维护停机时间。
  • 优质材料选型:从日本专利氧化铝纤维保温到纯铜变压器接线与UL认证电子元件,所有组件均以性能为优先,不做成本妥协。
  • 灵活的连接与控制:集成RS485接口与专业软件,研究人员可实时可视化温度曲线,为关键实验提供完整可追溯性与数据完整性。
  • 安全优先设计:双壳体风冷壳体加完善的漏电、过流保护系统,可为繁忙的多用户实验室提供安全运行环境。

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