产品概述



该高性能热处理系统专为满足先进材料科学和工业研发的严苛要求而设计。设备采用先进的三温区加热架构,能够创建极其稳定的热平台或精确的温度梯度。通过使用高纯度刚玉加工管和开启式炉体设计,该装置为最高1500°C的高温合成、烧结和退火提供了一个多功能平台。其核心价值在于能够在从高真空到受控气氛的各种环境中提供可重复、高精度的结果,确保关键研究的一致性和可扩展性。
针对半导体制造、航空航天陶瓷和冶金研究等行业,该系统在对热均匀性有严格要求的应用中表现出色。设备专为多用途实验室环境设计,可快速更换不同的加工管,以适应各种实验需求。其坚固的结构和最先进的加热元件使其成为学术机构和专注于下一代材料的工业实验室的可靠主力设备。
可靠性是该设备设计的核心。通过集成最新升级的联锁安全系统和高等级碳化硅加热元件,该装置在设计上兼顾了长寿命和操作安全性。即使在1400°C的连续高温运行下,系统仍能保持其结构完整性和精度。工业买家可以完全信赖设备在严苛工作周期下的表现,辅以全面的PID控制和冗余过热保护机制,允许在不影响安全或样品完整性的前提下进行无人值守操作。
主要特点
- 独立控制的三温区加热: 系统具有三个独立的200mm加热区(总长600mm),每个区域由其独立的控制器和S型热电偶管理。这允许实现350mm的恒温区(均匀度±2ºC),或为气相输运应用创建自定义热梯度。
- 精密PID温度调节: 配备三个30段可编程控制器,设备提供先进的微处理逻辑,以±1°C的精度管理升温速率、降温速率和保温时间。
- 符合人体工程学的开启式炉膛设计: 炉体设计为可沿长度方向打开,便于更换管材、装载样品以及集成复杂的内部传感器阵列,而无需拆卸整个真空法兰组件。
- 先进的安全联锁系统: 集成在炉体结构中的专用安全联锁装置可在炉膛打开时自动切断加热元件的电源,保护操作人员在检查或维护期间免受电气和热暴露。
- 高性能碳化硅(SiC)元件: 系统配备24根高等级1500°C额定SiC棒(直径14mm),确保陶瓷加工管内快速的热响应和均匀的辐射热传递。
- 多功能气氛能力: 设备提供高纯度刚玉管和精密加工的真空法兰,支持低至10E-5 torr(使用分子泵时)的真空水平及低压气体环境。
- 全面的保护电路: 内置过热和热电偶断路保护装置,为长周期运行提供保障,包括在偏差发生时自动触发的声光报警。
- 可扩展的数字通信: 具有标准RS485接口,可通过基于PC的控制模块进行升级,实现实时数据记录、远程配方管理以及通过基于Labview的软件进行自动化周期验证。
- 耐用的莫来石/刚玉管选项: 系统支持多种管材,包括标准刚玉(外径80mm)和可选莫来石(外径82mm),允许用户根据特定工艺要求优化化学兼容性和抗热震性。
应用领域
| 应用 | 描述 | 主要优势 |
|---|---|---|
| CVD / PECVD | 用于薄膜生长和碳纳米管的化学气相沉积。 | 精确的梯度控制可在大型基板上实现均匀的薄膜沉积。 |
| 技术陶瓷烧结 | 先进氧化物和非氧化物陶瓷的高温致密化。 | 1500°C的峰值能力可用于合成高熔点技术陶瓷。 |
| 半导体退火 | 硅片或化合物半导体材料的受控热处理。 | 三温区控制确保整个工艺管长度范围内具有相同的热历史。 |
| 晶体生长 | 用于单晶合成的气相输运和定向凝固技术。 | 独立温区编程允许微调液-固界面的移动。 |
| 真空除气 | 从特种冶金合金中去除挥发性杂质和气体。 | 高真空法兰设计在高温深真空下保持结构完整性。 |
| 电池材料研究 | 在惰性或氧化气氛中对正/负极前驱体进行煅烧和热循环。 | 坚固的S型热电偶提供多天循环测试所需的长期稳定性。 |
技术规格
| 参数 | TU-65规格详情 |
|---|---|
| 型号 | TU-65 |
| 最高温度 | 1500°C(< 1小时) |
| 连续工作温度 | 1400°C |
| 升温速率 | 建议5°C/min |
| 额定功率 | 9KW |
| 输入电压 | AC220V 单相,50/60Hz(需50A断路器) |
| 加热区配置 | 三个温区:每区200mm(总长600mm) |
| 恒温区 | 350mm(± 2ºC,当所有温区设定为相同温度时) |
| 温度精度 | ± 1ºC,采用PID 30段可编程控制 |
| 加工管(标准) | 刚玉管:80mm 外径 × 74mm 内径 × 1200mm 长 |
| 加工管(可选) | 莫来石管:82mm 外径 × 73mm 内径 × 1200mm 长 |
| 加热元件 | 24根碳化硅棒(14mm直径 x 150mm发热部 x 413mm长) |
| 热电偶 | 3支S型(每个加热区一支) |
| 真空能力 | 10E-2 torr(机械泵)/ 10E-5 torr(分子泵) |
| 气体流量限制 | < 200 SCCM (200 ml/min),使用二级减压阀(< 3 PSI) |
| 最大工作压力 | < 0.02 Mpa(针对莫来石管应用) |
| 通信接口 | RS485(可选配MTS-02 PC控制模块) |
| 合规性 | CE认证;可应要求提供NRTL (UL61010) 或 CSA认证 |
| 安全特性 | 集成联锁系统(2015年6月起启用);过热/热电偶断路报警 |
为何选择 TU-65
- 卓越的热均匀性: TU-65架构采用三温区独立控制系统,消除了单温区炉常见的冷端效应,提供了显著更大的可用加工窗口。
- 精密工程与制造质量: 采用高等级耐火材料和重型开启式外壳构建,该装置专为工业级耐用性和高通量实验室的易维护性而设计。
- 增强的操作员安全性: 与旧型号不同,TU-65具有现代硬件联锁系统,可最大限度地降低意外热暴露或电击风险,符合现代实验室安全标准。
- 多功能气氛控制: 无论您的工艺需要高真空还是超纯气体流动,专用的法兰设计和热阻块放置都能确保结果的一致性并保护炉内组件。
- 久经考验的可靠性与支持: 凭借标准的CE认证和可选的NRTL/CSA合规性,该系统是全球公认的材料合成平台,并提供全面的技术支持和现成的更换耗材。
如需了解更多关于TU-65的信息,或针对您的特定研发需求申请定制加热区配置,请立即联系我们的技术销售团队获取正式报价。
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