1200°C 最高温三温区管式炉，最大外径6英寸（含管及法兰）

产品概述

这款高性能热处理系统专为满足材料科学研究和工业生产的严苛需求而设计。设备采用三温区加热配置，拥有150毫米（6英寸）的大口径处理能力，为大规模样品处理（包括4英寸晶圆退火）提供了灵活的平台。通过三个独立控制的加热区，用户可以实现卓越的温度均匀性，或创建精确的热梯度，使其成为需要严格气氛控制和热稳定性的复杂热处理工艺中不可或缺的工具。

该系统专为半导体、航空航天和先进陶瓷行业的广泛应用而设计。无论是用于化学气相沉积（CVD）、高纯材料烧结，还是金属部件的受控氧化，该设备都能提供可重复且可靠的结果。其坚固的结构和先进的控制界面使其能够无缝集成到研发实验室和中试生产线中，而这些领域对开发下一代高温材料的精度和可扩展性至关重要。

该炉体在设计时充分考虑了长期运行的可靠性，采用了优质隔热材料和先进的电源管理系统，以确保在严苛条件下保持稳定的性能。高纯氧化铝纤维隔热材料的集成不仅保证了热效率，还最大限度地减少了热量损失，使系统既节能又对温度调节具有高度响应性。实验室管理人员和采购团队可以信赖该设备，它能提供稳定的热环境，确保关键实验和生产批次免受温度波动和污染的影响。

主要特点

• 三温区独立控制：系统具有三个独立的加热区，可实现扩展的均匀温区或自定义热梯度。这种配置对于需要在处理管长度方向上实现特定温度分布的工艺（如晶体生长或大批量退火）至关重要。
• 先进触摸屏界面：7英寸高分辨率触摸屏为整个系统提供了直观的控制中心。用户可享受一键启动/停止功能、实时数据监控，并能预存多个复杂的温度程序，从而显著降低手动设置错误的风险。
• 精密PID温度调节：设备配备先进的PID控制器和自动调谐功能，温度精度可保持在+/- 0.2°C。这种精度对于敏感材料的处理至关重要，因为即使是微小的偏差也可能影响样品的结构完整性或电气性能。
• 高纯Al2O3纤维隔热：炉膛内衬采用节能高纯氧化铝纤维隔热材料，并辅以氧化铝涂层。这种组合不仅延长了加热元件的使用寿命，还确保了快速的升温速率和卓越的保温性能。
• 大口径处理能力：该系统设计用于容纳直径达150毫米（6英寸）的石英管，非常适合4英寸晶圆处理及更大的块状材料样品。通过适配器使用不同管径（80毫米至150毫米）的灵活性，使其成为应对不断变化的研究需求的理想设备。
• 全面数据记录：集成控制系统会自动记录工艺数据，并存储长达一个月的历史记录。此功能有助于进行深入的工艺后分析和质量控制文档记录，这对工业认证和研究可重复性至关重要。
• 稳固的真空与气氛密封：提供高质量不锈钢密封法兰，支持在真空或受控气体环境下进行处理。这使得设备能够处理多种化学工艺，并防止高温循环过程中的氧化。
• 安全优先设计：过热保护和热电偶故障保护机制为标准配置，确保长时间运行时的安全无忧。系统设计强调安全操作，并针对压力管理和气体流量调节制定了特定协议。
• 整体管式隔热性能：相比标准的对开式设计，整体管式隔热设计提供了更均匀的温区，确保辐射热均匀分布在处理管的整个圆周上。
• 程序段灵活性：系统支持50个可编程段，支持极其复杂的升温和降温曲线。这允许精确模拟工业热循环，并能执行缓慢、受控的降温，以防止脆性材料发生热冲击。

应用领域

技术规格

为什么选择 TU-37

• 无与伦比的热精度：TU-37系列利用先进的三温区架构，消除了单温区系统常见的温度下降问题，为关键工业工艺提供了巨大的420mm均匀温区。
• 工业级制造质量：从高纯Al2O3纤维隔热材料到重型不锈钢法兰，系统的每个组件都经过精心挑选，以确保其能够在严苛的研发环境中连续运行。
• 可扩展的处理能力：能够容纳6英寸（150mm）管的独特能力，使研究人员无需更换设备平台即可从小型测试平稳过渡到4英寸晶圆生产。
• 以用户为中心的数字控制：触摸屏界面和自动数据记录降低了操作学习曲线，同时确保所有工艺参数都经过细致记录，以满足合规性和质量保证要求。
• 多功能气氛灵活性：无论您的工艺需要高真空、惰性气体流动还是特定的压力管理，该系统可适配的法兰和泵送选项都为您多样化的研究路径提供了面向未来的解决方案。

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