产品概述



该高温热处理系统专为需要精确温度控制和大气环境灵活性的先进材料研究及工业研发而设计。通过采用三温区加热架构,该设备允许用户创建复杂的温度梯度或显著延长恒温区,使其成为复杂合成工艺中不可或缺的工具。设备可在高达 1600°C 的温度下可靠运行,为受控条件下的高纯陶瓷烧结、半导体掺杂和金属退火提供所需的热能。
该系统具有独特的开启式炉体设计,便于快速接触处理腔室。对于需要频繁更换处理管或在循环之间检查样品物理状态而无需拆卸复杂法兰组件的研究人员来说,这种配置尤为有利。目标行业包括航空航天工程、储能开发和先进半导体制造,在这些领域,热环境的完整性直接决定了最终材料的质量。
可靠性是该装置设计的核心。配备重型碳化硅加热元件和高精度 S 型热电偶,即使在严苛的连续运行条件下也能保持一致的性能。采购团队可以信赖高纯度氧化铝管的结构完整性和真空密封系统的效率,两者共同确保了敏感材料处理的纯净环境。该系统代表了对长期运行一致性和高精度热工程的稳健投资。
主要特点
- 三温区独立控制: 该炉包含三个独立的加热温区,每个温区均由其专属的微处理器 PID 控制器管理。这使操作员能够建立精确的温度梯度或保持 350mm 的宽恒温区,为多样化的实验需求提供无与伦比的灵活性。
- 高性能碳化硅加热: 系统由 24 根 1600°C 级碳化硅 (SiC) 加热元件驱动。这些元件因其卓越的热稳定性以及在工业环境中快速达到 1550°C 同时保持长寿命的能力而被选用。
- 精密 PID 温度管理: 利用先进的自整定 PID 控制,系统确保了 +/- 1°C 的精度且零超调。三个控制器中的每一个均支持 30 个程序段,允许以高重复性自动执行复杂的升温、保温和降温循环。
- 便于操作的开启式设计: 炉体设计为可沿纵向解锁并打开。这一工程选择简化了氧化铝管的安装、热块的放置以及内部样品的管理,显著减少了实验运行之间的停机时间。
- 先进的真空密封系统: 装置配备高质量不锈钢真空密封法兰和硅胶 O 型圈,使用标准泵可达到 10E-2 Torr 的真空度,使用分子泵系统可达到 10-5 Torr,确保敏感材料处于无氧环境。
- 耐用的氧化铝处理管: 设备包含一根高纯度 80mm 外径氧化铝管,能够承受极端的冷热冲击和化学腐蚀。这使得该系统非常适合涉及反应气体或需要无污染容器的高纯粉末的工艺。
- 集成安全与监控: 内置超温和热电偶故障报警器为无人值守运行提供了关键的安全保障。S 型热电偶的使用确保了该系统所针对的高温范围能够获得高度准确的反馈。
- 可扩展的数字通信: 集成了标准 DB9 PC 通信端口,允许进行远程监控和数据记录。对于需要记录热历史并维护热处理循环数字记录的工业研发团队而言,此功能至关重要。
应用领域
| 应用 | 描述 | 主要优势 |
|---|---|---|
| CVD & PECVD 研究 | 使用前驱气体合成碳纳米管、石墨烯和薄膜涂层。 | 精确的三温区分布确保了大面积前驱体沉积的均匀性。 |
| 先进陶瓷烧结 | 氧化铝、氧化锆及其他工业陶瓷材料的高温致密化。 | 1600°C 的能力和真空完整性防止了烧结过程中的氧化。 |
| 半导体掺杂 | 将掺杂剂受控扩散到半导体晶圆或基板中。 | 卓越的 +/- 1°C 温度精度确保了电子性能的一致性。 |
| 大气退火 | 在惰性或还原气氛中对金属合金或玻璃进行热处理。 | 真空密封法兰防止大气污染,确保材料纯度。 |
| 晶体生长 | 从熔体中逐渐降温以产生单晶结构。 | 独立温区控制允许实现缓慢生长所需的精确温度梯度。 |
| 催化剂合成 | 化学处理中催化剂载体和活性相的高温活化。 | 稳健的 SiC 元件提供了高效活化所需的高温持续性。 |
| 粉末冶金 | 将金属粉末烧结成用于航空航天或汽车的高密度部件。 | 开启式炉体设计便于装载多个大质量样品。 |
| 热循环测试 | 在重复的高温应力下测试组件以评估疲劳度。 | 30 段程序控制器可自动执行复杂的应力曲线,用于长期测试。 |
技术规格
| 参数 | 详细规格(单位/数值) |
|---|---|
| 型号标识 | TU-71 |
| 输入功率 | 9.0 kW |
| 工作电压 | 208-240VAC, 50/60Hz |
| 最高工作温度 | 1550°C |
| 连续工作温度 | 1500°C |
| 推荐加热速率 | < 10°C / 分钟 |
| 加热元件 | 24 根 1600°C 级碳化硅 (SiC)(直径 12mm x 加热长度 150mm x 总长 368mm) |
| 热电偶 | 3 支内置 S 型热电偶 |
| 处理管材质 | 高纯氧化铝管 |
| 处理管尺寸 | 80mm 外径 x 74mm 内径 x 1200mm 长 |
| 加热区配置 | 三个温区:每个 200mm(总长 600mm) |
| 恒温区长度 | 350mm (+/- 2°C) |
| 温度控制器 | 3x 微处理器 PID;30 段(升温、降温、保温) |
| 温度精度 | +/- 1°C |
| 真空能力 | 10E-2 Torr(机械泵);10-5 Torr(分子泵) |
| 通信接口 | 默认 DB9 PC 端口(可选配 PC 控制模块) |
| 法兰系统 | 包含带硅胶 O 型圈的真空密封法兰 |
| 最大内部压力 | < 0.02 MPa (0.2 bar / 3 PSI) |
| 安全功能 | 超温报警,热电偶故障报警 |
| 合规性 | CE 认证(可额外付费提供 NRTL 或 CSA 认证) |
| 电源线 | 10 英尺重型 10-3 AWG UL 认证线缆(不含插头) |
为何选择该热处理系统
- 卓越的热精度: 三温区独立控制架构实现了 350mm 的大范围恒温区,显著降低了大批量材料处理的误差范围。
- 工业级耐用性: 采用 1600°C 级 SiC 加热元件和重型氧化铝管制造,该炉专为承受连续工业生产和高温研究的严苛要求而设计。
- 多功能大气控制: 无论您的工艺需要高真空还是低压惰性气体环境,先进的法兰和密封系统都能为现代材料合成提供必要的隔离。
- 精密工程与安全: 系统拥有完整的 CE 认证,并可选配 NRTL/CSA 升级,符合全球最严格的实验室和工业安全标准,确保长期项目无后顾之忧。
- 可定制的控制选项: 除了标准的高精度 PID 控制器外,系统还支持升级到 Eurotherm 控制器以获得更高精度,并支持基于 Labview 的软件以实现全面的数据管理。
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