紧凑型开启式管式炉（集成真空系统及精密温度校准仪）

产品概述

该高温处理系统是专为精密材料科学和工业研究设计的专业热处理解决方案。通过将开启式管式结构与集成真空环境相结合，该设备允许快速装卸样品，且不会破坏复杂实验装置的完整性。系统设计用于在高达 1200°C 的温度下实现均匀加热，为退火、烧结和化学气相沉积工艺提供了一个稳定的平台，在这些工艺中，气氛控制对最终材料性能至关重要。

该设备面向先进研究实验室和工业研发设施，为多学科研究提供了所需的灵活性。无论是用于半导体晶圆加工还是新型电池化学开发，该系统都能提供可靠且可重复的热环境。内置的专用温度校准组件确保用户能够验证管内实时温度，弥补了设定点参数与实际样品暴露条件之间的差距。

该设备专为耐用性和长期运行一致性而打造，采用重型钢外壳和高纯度氧化铝纤维隔热材料。这种组合不仅确保了卓越的能源效率，还在高温循环期间保持较低的外部表面温度。坚固的工程设计体现了对安全和精度的承诺，使其成为采购团队寻求满足现代材料研究和工业热处理严苛标准、可靠且高性能热处理设备的必备资产。

主要特点

• 精密开启式设计： 纵向开启的炉膛便于接触工艺管，无需完全拆卸真空法兰或气路即可快速插入样品或预组装的实验装置。
• 先进的 PID 温度控制： 该系统采用高精度 PID 控制器，具有 30 个可编程段，确保 ±1°C 的严格热精度，并允许针对特定材料要求定制复杂的升温和保温曲线。
• 集成高真空系统： 配备 156 L/m 双级旋片真空泵和排气过滤系统，可实现低至 1E-2 Torr 的真空度，从而在受控环境中进行无污染处理。
• 实时温度校准： 集成的 NIST 标准 OMEGA K 型热电偶和数字校准仪允许操作员直接测量内部样品温度，从而对实验数据和工艺可重复性具有高度信心。
• 卓越的隔热性能： 炉膛内衬节能的 Al2O3 纤维隔热材料，可减少热量损失和功耗，同时确保高达 10°C/min 的快速升温速率，以提高实验室处理能力。
• 双侧气氛控制： 系统配备带有 1/4" 倒钩进气口和 KF25 出气口的不锈钢真空法兰，支持真空操作和流动气体气氛，适用于多种化学和物理气相沉积工艺。
• 钼掺杂高性能加热元件： 经钼掺杂增强的铁铬铝合金加热元件专为在高达 1200°C 的温度下实现长寿命和一致性能而设计，具有抗氧化和抗热疲劳特性。
• 模块化真空法兰组件： 重型不锈钢法兰包括集成真空计和高温密封圈，专为在高温下进行长时间高真空操作时的快速组装和可靠密封而设计。
• 集成安全与监控： 系统包含内部安全挡块以防止辐射热损失，并可与可选的监控软件集成，通过 PC 进行实时数据记录和远程配方管理。

应用领域

技术规格

为何选择本炉系统

• 无与伦比的测量精度： 将专用的、可溯源至 NIST 的温度校准仪直接集成到真空腔内，能够验证标准壁挂式传感器无法比拟的样品温度。
• 专为可靠性设计： 该系统采用工业级钼掺杂加热元件和高密度氧化铝隔热材料，旨在严苛的研发环境中连续使用而不降低性能。
• 完整的即用型套件： 与需要单独采购真空组件的系统不同，该设备随附大容量 156 L/m 机械泵、所有必要的法兰和石英管。
• 灵活且可扩展的架构： 开启式管式设计和模块化法兰系统允许用户随着研究需求的发展，升级到更大的管径或涡轮分子泵（达到 10E-6 Torr）。
• 卓越的制造质量： 从重型钢底盘到精密 PID 电子元件，每一个组件的制造都符合工业耐用性和用户安全的最高标准。

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