1200°C 5英寸立式石英管式炉（带不锈钢真空法兰）

产品概述

该立式热处理系统专为高精度材料研究和工业热处理而设计。通过采用垂直方向，该设备便于进行淬火测试和气相沉积等需要重力辅助样品定位或特定对流模式的专业工艺。该装置为需要在严格控制的真空或气体吹扫环境下进行快速加热和冷却的实验室提供了稳健的解决方案，确保了敏感材料合成的高纯度结果。

该系统特别适用于先进材料科学应用，包括薄膜开发、粉末涂层和基础化学气相沉积（CVD）工艺。其工作空间旨在容纳大直径5英寸的石英管，为各种实验设置提供了充足的空间。目标行业涵盖半导体研究、航空航天部件测试、冶金和陶瓷工程，在这些领域，精度和可重复性是成功研发成果不可妥协的要求。

该炉体注重长期运行的可靠性，采用双层钢外壳和高纯度氧化铝纤维隔热材料。这种结构确保了最大的能源效率和卓越的温度均匀性，同时保持外表面低温，以确保操作人员的安全。先进PID控制技术的集成允许执行复杂的热曲线，使研究人员有信心在每个周期中以一致且可记录的性能执行苛刻的加热协议。

主要特点

• 立式处理创新： 该系统的垂直配置针对样品取向至关重要的淬火和沉积工艺进行了优化。该设计允许在热区内轻松悬挂样品，促进样品均匀受热并接触反应气体。
• 大容量石英腔体： 配备130mm外径的熔融石英管，该炉可同时容纳更大的样品或多个坩埚。真空级石英确保了化学惰性，并允许在热处理过程中对内部过程进行目视监测。
• 集成式分体炉门设计： 炉壳采用由坚固铝框架支撑的分体式结构。这种设计允许快速安装和拆卸处理管，并便于进行维护或实验调整，而无需拆卸整个排气系统。
• 精密气氛控制： 两个重型不锈钢法兰为真空或惰性气体操作提供了气密密封。集成的针阀、真空计和倒钩接头能够精确调节内部环境，在适当的泵送系统下支持低至10-5 Torr的压力。
• 先进的热管理： 系统由30段可编程PID控制器驱动，提供±1°C的精度。这允许对加热速率、保温时间和冷却阶段进行细致控制，并具有内置的自动调谐功能和全面的超温保护。
• 耐用的加热元件： 该装置使用掺钼的特种铁铬铝合金加热元件。这些元件旨在承受高温循环的严苛要求，同时在严苛的工业环境中保持稳定的电阻和较长的使用寿命。
• 先进的安全工程： 带有主动空气冷却的双层钢结构最大限度地减少了外部热辐射。包含的安全警报和针对过热或热电偶故障的自动停机协议，确保系统在无人值守操作期间保持受保护状态。
• 模块化扩展能力： 该设备专为多功能性而设计。它可以很容易地改装成用于粉末涂层的流化床系统或完整的CVD/PVD沉积炉，为不断发展的研究需求提供了一个面向未来的平台。

应用领域

技术规格

为什么选择 TU-C08

• 优质工程标准： 该系统采用工业级材料制造，从掺钼加热元件到高纯度 Al2O3 纤维隔热材料，确保了卓越的热效率和长期耐用性。
• 精度与稳定性： 凭借30段PID控制器以及可选的超高精度Eurotherm集成，该设备为敏感材料合成提供了所需的控制水平，即使是轻微的偏差也可能影响结果。
• 多功能操作范围： 无论是在高真空（高达 10-5 Torr）还是流动气体气氛下运行，双法兰密封系统都能确保为各种化学和物理过程提供经过泄漏率测试的环境。
• 安全第一设计： 双层风冷钢结构大幅降低了表面温度，而集成的过温和传感器故障安全警报在繁忙的实验室环境中提供了安心保障。
• 可扩展的研究平台： 除了其核心功能外，将该装置改装为CVD系统、PVD炉或流化床的能力使其成为一项高价值投资，能够随您的研究需求而成长。

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