产品概述
这套先进的热处理系统专为需要超长加热长度和精确气氛控制的大规模研究及工业应用而设计。通过在总长6米的范围内集成12个独立的加热温区，该设备为研究人员提供了独特的灵活性，能够创建复杂的温度梯度或保持超长的恒温区。该系统专门用于处理传统实验室炉无法容纳的长条形样品、线材或大批量材料。其开启式铰链结构确保了超长工艺管的安装和维护简便，降低了设置过程中损坏组件的风险。
该设备面向先进材料科学、冶金和半导体行业，是化学气相沉积（CVD）、超导线材退火以及特种碳结构合成等工艺的核心设备。它架起了小型实验室实验与工业规模生产之间的桥梁，既具备研究工具的精度，又拥有中试系统的处理能力。炉体采用重型工业组件制造，针对连续运行进行了优化，通过集成的真空密封石英管和不锈钢法兰系统提供高纯度环境。
可靠性是该热处理装置的标志。从高纯度纤维氧化铝绝缘材料到模块化钢制外壳，每一个组件都经过精心挑选，以承受高温热循环的严苛考验。控制电子设备被安置在专用的机柜中，保护敏感的PID控制器免受热应力影响，确保长期的运行稳定性。买家可以放心投资，因为该系统能够提供可重复的结果、均匀的热分布以及在真空或受控气氛条件下的稳健性能，使其成为高要求工业研发环境中不可或缺的资产。
主要特点
- 十二个独立加热温区：每个500毫米的温区都配备了专用的PID控制器和热电偶，可在整个6000毫米的长度上实现对热分布的无与伦比的控制。
- 开启式炉体结构：加热室可沿纵向打开，便于超长工艺管的装卸，并允许在不拆卸的情况下快速冷却或检查样品设置。
- 模块化炉腔设计：为物流效率而设计，炉体采用模块化腔室设计，使超长系统能够分段运输并在现场轻松组装。
- 先进触摸屏控制：集中的触摸屏界面可同时管理所有12个温区，为编辑温度曲线和从单一终端监控实时数据提供了用户友好的平台。
- 高纯度纤维氧化铝绝缘：炉腔内衬节能氧化铝纤维，具有优异的隔热性能、低蓄热量和极佳的抗热震性。
- 精密真空法兰系统：包括带有针阀和压力表的不锈钢快速装配法兰，旨在在整个加热周期内保持高真空度或精确的气体气氛。
- 增强型加热元件：采用掺钼的1300°C级铁铬铝合金元件，确保系统升温速率高达20°C/分钟，并在高温下具有更长的使用寿命。
- 远程PC接口功能：内置RS485通信端口和专用软件，允许从安全距离进行完整的远程操作、数据记录和配方管理。
- 集成安全保护：系统具有内置的过热保护和热电偶断路报警功能，在发生故障时自动切断电源，以保护设备和样品。
- 双层钢制外壳：坚固的空气冷却双层壳体结构在保持20英尺框架结构完整性的同时，确保了操作人员接触的外表面温度安全。
应用领域
| 应用 | 描述 | 主要优势 |
|---|---|---|
| 超导线材退火 | 在受控气氛中对超长超导丝进行精确热处理。 | 在整个线材长度上实现均匀的相形成，无需分段处理样品。 |
| 氮掺杂碳合成 | 对催化剂进行高温处理，以优化结构有序性和导电性。 | 在1100°C下促进稳定的Co-N簇形成，提高甲醇耐受性。 |
| CVD / PECVD工艺 | 在大尺寸基底或多个晶圆上进行大规模化学气相沉积薄膜涂层。 | 由于拥有18英尺的恒温区，可实现高产量和一致的薄膜厚度。 |
| 长条金属材料处理 | 航空航天和汽车行业所用特种合金带材的热处理和应力消除。 | 防止翘曲，确保整个材料带具有一致的机械性能。 |
| 碳纳米管生产 | 在真空下利用各种气体前驱体进行碳纳米管的连续或批量生长。 | 通过在高纯度石英环境中提供巨大的反应空间，最大化产量。 |
| 半导体扩散 | 将掺杂剂高温扩散到硅片或长棒基底中。 | 卓越的+/- 1°C精度确保所有处理过的部件具有可重复的电子特性。 |
| 温度梯度研究 | 为晶体生长或材料相变研究创建特定的温度斜率。 | 12温区控制允许在6米范围内编程线性或非线性梯度。 |
技术规格
| 参数 | TU-54型规格 |
|---|---|
| 炉体结构 | 带冷却风扇的双层钢壳；模块化设计，易于安装 |
| 绝缘材料 | 高纯度纤维氧化铝绝缘材料 |
| 加热元件 | 掺钼1300°C级铁铬铝合金 |
| 最高温度 | 1100°C（< 1小时） |
| 连续工作温度 | 1050°C |
| 最大升温速率 | ≤ 20°C / 分钟 |
| 总加热温区 | 12个独立温区（每个500毫米） |
| 总加热区长度 | 6000毫米（20英尺） |
| 恒温区 | 当所有温区同步时，约5500毫米（18英尺），精度+/- 2°C |
| 工艺管尺寸 | 熔融石英管：5英寸外径 x 4.7英寸内径 x 22英尺长（6500毫米） |
| 温度控制器 | 一台触摸屏数字单元，独立控制12个PID通道 |
| 控制精度 | +/- 1°C |
| 程序容量 | 10个存储程序；每个程序30个段 |
| 热电偶 | 12 x K型（每个温区一个） |
| 通信端口 | RS485，含配套软件（支持PC连接） |
| 真空法兰 | 不锈钢材质，带针阀、压力表和KF40接口 |
| 总额定功率 | 最大30 KW |
| 输入电压 | AC 208-240V 单相，50/60 Hz |
| 安全特性 | 过热和热电偶断路保护 |
| 合规性 | CE认证；可根据要求提供NRTL/CSA认证 |
为什么选择TU-54
- 无与伦比的热均匀性：12温区控制架构提供了巨大的18英尺恒温区，确保大规模样品从头到尾都能获得完全相同的热处理。
- 工业级可扩展性：该系统允许研究人员在不改变热参数的情况下，从小型实验室测试过渡到中试生产，节省了数月的工艺开发时间。
- 精确的气氛管理：高纯度石英管和真空密封法兰组件允许进行复杂的气体处理，这对敏感材料合成和高纯度退火至关重要。
- 可靠的工程与支持：该装置采用优质组件和模块化设计，旨在提供数十年的服务，并提供现场认证和技术支持。
- 可定制的控制选项：从无线远程操作到集成水冷系统，该炉可根据您设施的具体安全和数据需求进行量身定制。
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