带触摸屏控制器和多种石英管选项的五温区 1200°C 高温分体式管式炉

管式炉

带触摸屏控制器和多种石英管选项的五温区 1200°C 高温分体式管式炉

货号: TU-48

最高温度: 1200°C 加热区: 5个区域(总长度870mm) 真空度: 最高可达10-4 Torr
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产品概述

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这款高性能五温区热处理系统专为先进材料科学研究和工业研发而设计。通过采用五个独立控制的加热区,设备使研究人员能够创建一个高度稳定、延伸的均匀温区,或实现精确、可定制的温度梯度。这种灵活性对于化学气相沉积(CVD)、晶体生长以及局部相变等复杂工艺至关重要,因为这些工艺对长距离范围内的温度精度要求极高。分体式炉体设计便于快速冷却并轻松接触工艺管,从而最大化实验室吞吐量和运行效率。

该设备面向从半导体制造到航空航天冶金等多个领域,是退火、扩散和烧结应用的核心装备。无论是在高真空还是特定气氛条件下运行,该设备都能提供受控环境,最大限度减少污染并确保实验结果可重复。高纯纤维氧化铝隔热材料与双层钢制外壳的结合,确保内腔达到极高温度时,外表面仍能保持对操作人员安全,体现了对性能与实验室安全的双重重视。

可靠性是该系统架构的核心。设备采用重型组件和先进的触控控制界面打造,旨在严苛环境下持续运行。B2B 采购团队和实验室管理者可依赖其坚固的工程设计,日复一日地提供稳定的热处理曲线。配备内置保护机制和标准化安全认证,这款炉子代表了对长期研究能力的高端投资,为敏感的工业热处理工艺提供所需的稳定性。

主要特点

  • 独立控制的五温区加热: 系统包含五个独立加热区,每个长度为 152 mm。该配置可形成长度约 500 mm、精度为 ±2°C 的恒温区,或建立特殊材料合成所需的特定温度梯度。
  • 先进的触摸屏界面: 集成 PLC 触摸屏控制面板可同步控制全部五个温区。支持多达 30 个可编程步骤,用于升温、降温和保温,简化复杂工艺配方,并确保高重复性,无需手动调整。
  • 高精度 PID 温度调节: 采用五个高灵敏度 K 型热电偶,先进的 PID 控制器可在完整 1200°C 工作范围内保持 ±1°C 的精度,补偿环境波动和热负载变化。
  • 高效真空密封: 炉体配备一对真空密封不锈钢法兰,包括机械压力表和针阀。与涡轮分子泵配合时,可实现低至 10-4 torr 的真空度,支持高纯气氛控制。
  • 节能隔热设计: 炉膛内衬高纯纤维氧化铝隔热材料。这种低热容量材料可减少热量损失和功耗,同时支持更快的升温速率并更好地控制外壳温度。
  • 灵活的工艺管选项: 为适应不同样品尺寸和产能需求,系统支持可互换石英管,外径可选 80 mm、100 mm 或 130 mm,均采用 1400 mm 标准长度,以实现最佳热量分布。
  • 增强安全协议: 为确保工业级可靠性,系统内置过热保护和热电偶断线检测。双层钢壳配合集成冷却风扇,确保在长时间高温循环中外部保持低温。
  • 数字通信就绪: 配备 RS485 通信端口并兼容软件,系统可实现远程 PC 连接、数据记录以及热曲线实时监控,这对于研发环境中的审计追踪至关重要。

应用领域

应用 说明 主要优势
半导体掺杂扩散 利用多温区控制,在受控气氛下将掺杂剂扩散到硅晶圆或基底中。 整个样品批次的扩散深度高度均匀。
化学气相沉积(CVD) 通过建立温度梯度,控制前驱体在真空中向基底的迁移与沉积。 对膜厚和晶体取向实现精确控制。
材料烧结 在惰性气体或还原性气体环境下,于最高 1200°C 的温度将粉末材料致密化为固体。 提升陶瓷的结构密度和机械性能。
合金退火 通过受控加热和特定冷却速率,消除金属合金内部应力。 提升航空航天或汽车部件的延展性和韧性。
晶体生长 保持精确温度梯度,以促进从熔体或气相中缓慢生长单晶。 晶体质量更高,缺陷密度更低,纯度更高。
电池材料研究 在氮气或氩气环境中对正极或负极材料进行热处理,以优化离子电导率。 不同材料批次之间的电化学性能一致。
梯度热处理 通过将单个样品置于多个加热区之间,测试不同温度对其的影响。 加速相变研究的数据采集。

技术规格

参数组 规格详情 TU-48 基础值
电源要求 电压 / 频率 AC 208-240V 单相,50/60 Hz
最大功耗 8 KW
电路保护 需要 50A 断路器
热性能 最高温度 1200 °C (< 1 小时)
连续工作温度 1100 °C
最大升温速率 ≤ 20 °C / min
温度精度 ± 1 °C
加热区规格 温区数量 5 个温区(每个 152 mm)
总加热区长度 870 mm
恒温区长度 约 500 mm(± 2 °C 范围内)
热电偶 5 个 K 型(每区一个)
管型选项 TU-48-80 外径 80 x 内径 74 x 长度 1400 mm
TU-48-100 外径 100 x 内径 94 x 长度 1400 mm
TU-48-130 外径 130 x 内径 124 x 长度 1400 mm
真空系统 真空度(机械泵) 10-2 torr
真空度(涡轮分子泵) 10-4 torr
法兰组件 针阀(1/4")、机械式压力表、可提供 KF25 接口
控制界面 控制系统 PLC 触摸屏(集成五温区控制)
编程步骤 30 个步骤(升温、保温、冷却)
连接方式 RS485 通信端口
合规性 标准 CE 认证(可按需提供 NRTL 或 CSA)
专利编号 ZL-2011-2-0355777.1

为什么选择这款炉子

  • 卓越的热处理灵活性: 与单温区型号不同,该系统可对热曲线长度进行绝对控制。无论您需要短而强的梯度,还是长达 500 mm 的大面积均匀温区,五温区架构都能提供随研究需求增长而扩展的性能。
  • 高端工程与安全性: 采用工业级分体式炉体硬件和先进氧化铝纤维隔热材料制造,设备兼具耐用性和热效率。配备过热与热电偶故障保护,确保实验室和样品安全。
  • 直观自动化: 触摸屏 PLC 消除了管理五个独立控制器的复杂性。这种集成方式可无缝同步升温速率和降温阶段,降低复杂 30 步工艺配方中的操作错误风险。
  • 经验证的高真空性能: 标配真空密封法兰和高质量石英管,系统开箱即可用于高真空和受控气氛操作,轻松支持对氧敏感的反应。
  • 面向未来的合规性: 该系统已通过 CE 认证,并可升级至 NRTL 或 CSA 标准,适用于全球高合规要求的工业环境和学术机构。

我们的技术团队随时准备帮助您根据特定的气氛和热处理要求配置理想的炉型。立即联系 THERMUNITS 获取报价,或讨论适用于您的高温研究或生产设施的定制选项。

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