产品概述



这款精密的热处理系统专为高温材料研究和工业生产提供无与伦比的精确性而设计。通过采用独特的四温区加热架构,操作人员可以选择创建一个完美的均匀恒温区,或建立一个定制的热梯度。这种多功能性对于先进材料合成至关重要,因为需要特定的温度曲线来驱动化学反应、促进晶体生长或以精确的细节管理相变。可开启式炉体设计进一步提高了操作效率,可实现快速冷却并方便地取放石英处理管,使其成为高通量实验室环境中不可或缺的资产。
该设备专为严苛的研发周期和中试规模生产而设计,在半导体扩散、陶瓷烧结和特殊退火工艺方面表现出色。其坚固的结构和先进的隔热材料确保其能够维持1200°C的峰值温度,同时保护敏感的实验室环境和周围电子设备免受热耗散影响。从航空航天、电池技术到固态化学等各个行业都依赖该系统在真空或受控气氛条件下提供可重复结果的能力。高纯度石英和精密真空密封的集成为最敏感的分析样品提供了一个洁净、无污染的环境。
可靠性是该热工系统设计的基石。从高纯度纤维氧化铝隔热材料到重型冷却风扇,每个组件都经过精心挑选,以确保在连续运行下的结构完整性和性能寿命。即使在峰值加热周期,双层钢制外壳也能保持触感凉爽,优先考虑操作员安全和设备耐用性。通过将先进的触摸屏自动化与传统可开启式炉体的可靠性相结合,该系统为需要高温处理能力和多温区热管理精细度的研究人员提供了一个专业级解决方案。
主要特点
- 独立控制的四温区加热: 该系统采用150mm-300mm-300mm-150mm配置的四个独立加热区,可创建精确的热梯度,或提供总计900mm的巨大加热长度,适用于大批量处理。
- 先进的触摸屏界面: 一个集中的高分辨率触摸面板集成了四个PID控制器,可实现30段编程,无缝设置加热速率、保温时间和冷却曲线,精度达±1°C。
- 高效的可开启式炉体设计: 铰链式可开启外壳设计允许快速打开炉腔,便于处理后样品更快冷却,并简化石英管和内部夹具的安装或拆卸。
- 高性能真空密封: 配备专业级真空密封法兰系统,内置针阀、机械压力表和球阀,配合适当的抽气系统,该设备可支持高达10-4托的真空度。
- 卓越的热绝缘: 采用高纯度纤维氧化铝隔热材料,该系统最大限度地减少了能耗并防止热量散逸,确保外壳保持安全温度,同时维持内部热稳定性。
- 精密热电偶阵列: 四个K型热电偶战略性嵌入各温区内,为PID控制器提供实时、高精度的温度反馈,以便即时调整热分布曲线。
- 增强的安全协议: 该设备包含内置的过热保护和热电偶断裂报警系统,可自动关闭加热,防止在无人值守操作期间发生硬件损坏或实验损失。
- 多功能管材兼容性: 该系统设计可容纳多种石英管直径,范围从80mm到130mm,为研究人员提供了灵活性,无需投资全新的炉子系统即可调整样品尺寸。
- 强制风冷系统: 集成的双层钢制外壳配备节能冷却风扇,确保内外壳之间持续气流,显著延长电子元件的使用寿命。
- 工业PC连接: 配备RS485通讯端口和专用软件,该系统支持远程监控、数据记录以及基于PC的复杂热循环控制,以实现全面的审计追踪。
应用领域
| 应用领域 | 描述 | 主要优势 |
|---|---|---|
| 半导体扩散 | 利用处理管上精确的热梯度将掺杂剂引入硅片。 | 确保整个批次的结深和电学特性均匀一致。 |
| 固态电池研发 | 在受控气氛或真空下烧结电解质材料和电极涂层。 | 防止氧化,确保敏感电池组件的高离子电导率。 |
| CVD / PECVD 工艺 | 作为化学气相沉积薄膜、纳米管或纳米线的热反应器。 | 稳定的多温区加热能够精确控制气相反应和薄膜厚度。 |
| 金属合金退火 | 消除精密加工的航空航天或医疗级金属部件内的内应力。 | 受控的冷却速率和真空环境防止表面脱碳和氧化皮形成。 |
| 陶瓷共烧 | 多层陶瓷电容器或压电材料的高温处理。 | 300mm恒温区确保均匀收缩和结构致密性。 |
| 晶体生长 | 利用四温区梯度能力促进布里奇曼或切克劳斯基生长方法。 | 可定制的热梯度允许严格控制固液界面,以获得高纯度晶体。 |
| 气氛烧结 | 在氮气、氩气或合成气中加热氧化物陶瓷以达到理论密度。 | 高质量的真空法兰和针阀允许精确的气体流量管理和纯度控制。 |
| 催化剂测试 | 在各种流动条件下评估工业催化剂在高温下的性能。 | 坚固的石英管结构可耐受腐蚀性气体环境和快速热循环。 |
技术规格
通用系统参数
| 特性 | 规格详情 (型号 TU-45) |
|---|---|
| 产品编号 | TU-45 |
| 炉体结构 | 双层钢制外壳,带强制风冷风扇 |
| 隔热材料 | 高纯度纤维氧化铝隔热材料 (节能) |
| 最高温度 | 1200 °C (持续 < 1 小时) |
| 连续工作温度 | 1100 °C |
| 最大加热速率 | ≤ 20 °C / 分钟 |
| 温度精度 | ± 1 °C |
| 热电偶类型 | 4 组 K 型热电偶 |
多温区配置
| 加热区指标 | 测量值 |
|---|---|
| 总加热区长度 | 900 mm |
| 各温区长度 | 温区 1: 150mm | 温区 2: 300mm | 温区 3: 300mm | 温区 4: 150mm |
| 恒温区 | 300 mm 范围内 ± 2 °C (所有温区设定点相同) |
| 控制方式 | 通过触摸屏对各温区进行独立PID控制 |
电源与电气要求
| 参数 | 要求 |
|---|---|
| 输入电压 | 交流 208-240V 单相,50/60 Hz |
| 最大功耗 | 7 KW |
| 电路保护 | 需要 50A 断路器 |
| 通讯接口 | RS485 端口 (含软件) |
处理管及型号选项
| 基础型号 | 管材 | 管尺寸 (外径 x 内径 x 长度) | 法兰兼容性 |
|---|---|---|---|
| TU-45-80 | 高纯度石英 | 80 mm x 74 mm x 1400 mm | 真空密封,带 1/4" 接口 |
| TU-45-100 | 高纯度石英 | 100 mm x 94 mm x 1400 mm | 真空密封,带 1/4" 接口 |
| TU-45-130 | 高纯度石英 | 130 mm x 124 mm x 1400 mm | 真空密封,带 1/4" 接口 |
真空与气氛控制
| 特性 | 规格 |
|---|---|
| 真空度 (涡轮分子泵) | 最高可达 10-4 托 |
| 真空度 (机械泵) | 最高可达 10-2 托 |
| 真空接口 | 可根据要求提供 KF25 接口 |
| 气体压力限制 | < 0.2 巴 (标准操作) |
| 最大气体流量 | < 200 SCCM (以保护石英管免受热冲击) |
| 包含配件 | 针阀、机械压力表、球阀、陶瓷管堵头 |
选择我们的理由
- 无与伦比的热处理灵活性: 四温区配置提供了标准单温区炉无法比拟的控制水平,允许进行复杂的梯度合成,并在更大体积内实现卓越的均匀性。
- 直观的触摸控制: 通过将四个独立控制器整合到一个触摸屏界面,我们减少了操作员错误,并简化了复杂的30段热分布曲线管理。
- 专业的真空工程设计: 与标准实验室烘箱不同,该系统针对高真空完整性进行了优化,采用精密加工的法兰和高质量石英,符合工业半导体加工标准。
- 安全第一的设计: 双层外壳结构和强效空气冷却专为高流量实验室环境的安全而设计,确保内部高温不会对人员或其他设备构成风险。
- 投资级耐用性: 采用高纯度氧化铝隔热材料和优质加热元件制造,该系统专为在严苛的研发环境中提供多年稳定性能而设计,通过可靠性提供高投资回报率。
这款高性能四温区热工系统代表了实验室热处理技术的巅峰。立即联系THERMUNITS,索取报价或讨论根据您特定材料科学需求定制的配置方案。
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