四区管式炉 1100C，带 600mm 大直径石英管和真空法兰

产品概述

这款高性能四区管式炉代表了热处理工程的顶峰，专为容纳大规模材料样品和 8 英寸晶圆而设计。通过使用巨大的 600 毫米（24 英寸）直径高纯度石英管，该系统为需要体积和精度的特殊热处理提供了广阔的环境。该设备的价值核心在于其多区配置，它允许对热梯度进行精细控制，使其成为先进化学气相沉积 (CVD)、退火和烧结过程中不可或缺的工具，在这些过程中均匀性至关重要。

该设备面向工业研发中心和材料科学实验室，在处理各种大气条件方面表现出色。无论是在高真空还是特定的保护性气体环境中运行，该系统都能通过强大的工程设计保持其完整性。双层钢制外壳和集成空气冷却系统确保在内部腔室达到高温的同时，外部表面对操作人员来说是安全的，从而促进了高效且安全的工作室环境。该装置针对新材料的合成进行了优化，为研究人员提供了在台式或中试规模级别模拟复杂工业制造条件的灵活性。

可靠性是该设计的重中之重，采用了耐火纤维氧化铝保温层，可最大限度地提高能源效率和热稳定性。该系统经久耐用，可承受严苛的工业工作周期，在数千小时的运行中提供一致的性能。通过其处理先进碳材料结构有序化和石墨化的能力，该设备成为涉及催化剂开发、半导体研究和冶金测试项目的可靠支柱。该系统不仅仅是一个炉子，更是高风险材料创新的全面热解决方案。

主要特点

• 四区独立温度管理：系统具有四个独立的加热区，每个区长 300 毫米，总加热长度为 1200 毫米。这种配置允许创建精确的热梯度或长达 1100 毫米的超长恒温区，为长基板或大批量处理提供无与伦比的处理灵活性。
• 超大直径石英加工管：配备 600 毫米（24 英寸）OD 高纯度石英管，该装置专为加工大尺寸材料（如 8 英寸晶圆）而设计。石英材料具有出色的抗热震性和化学惰性，可为高纯度烧结和退火保持无污染环境。
• 精密微处理器 PID 控制：每个区域均由专用的数字控制器控制，具有 30 段可编程循环和自整定功能。基于微处理器的 PID 逻辑可防止温度过冲，并将稳态精度保持在 ±1°C，这对于敏感的材料转变和可重复的结果至关重要。
• 先进的多级真空密封：系统包括一对水冷不锈钢铰链法兰，可快速拆卸和实现卓越密封。利用 KF40 接口和集成端口，当与二级涡轮分子泵配合使用时，炉子可以达到低至 10-5 torr 的真空度，从而实现超净处理条件。
• 工业级加热元件：采用优质 NiCrAl 电阻丝加热元件，炉子可达到 1150°C 的最高加热温度。选择这些元件是因为它们经久耐用且热量释放一致，即使在频繁的热循环下也能确保长期可靠性。
• 集成安全和冷却系统：双层钢制外壳采用内部空气冷却设计，使外部表面温度低于 70°C。此设计可保护实验室人员并防止环境热量积聚，同时包含一个循环水冷机用于法兰，在高温运行时保护密封件。
• 全面的监控和校准：该装置配备了四个 K 型热电偶，用于实时监控每个区域。法兰包含用于二次校准热电偶的专用端口，允许用户验证内部温度并确保工艺验证和质量控制的最高标准。
• 高效耐火保温材料：优质纤维氧化铝保温层可最大限度地减少热量损失和功耗。这种节能设计与陶瓷管块相结合，可有效控制辐射，将热能集中在加工区而不是周围环境中。

应用

技术规格

为什么选择我们

• 卓越的热均匀性：四区架构提供了异常大的恒温区，是大型基板和批量处理的首选，因为热一致性决定了产品质量。
• 坚固的工业结构：该系统采用重型钢材、水冷不锈钢法兰和高效氧化铝保温材料设计，可满足连续研发和中试生产环境的严苛要求。
• 卓越的真空完整性：铰链式法兰设计结合高速涡轮泵兼容性，确保研究人员能够获得并维持高纯度化学气相沉积所需的超净环境。
• 精密工程和支持：每个系统都经过严格标准校准，并配有一系列可用附件，包括气体输送系统、氢气泄漏检测器和校准套件，以确保长期的运行精度。
• 可定制的大容量处理：凭借其独特的 600 毫米管径，该炉填补了标准实验室设备和工业生产窑炉之间的空白，为扩大先进材料研究规模提供了专业级解决方案。

我们的技术团队随时准备协助您配置最适合您特定加工要求的理想热解决方案。立即联系我们进行技术咨询或获取正式报价。