六温区开启式管式炉 1.8米石英管 1200°C高温加热系统

产品概述

这款六温区超长开启式管式炉代表了热处理工程的巅峰，专为高精度材料研究和工业生产而设计。通过在1.8米的超长加热长度上集成六个独立控制的加热区，该系统允许操作员建立超长的恒温区或复杂的多步热梯度。其开启式铰链设计便于快速操作，能够轻松插入工艺管并组装复杂的实验配置，无需长时间停机或费力的拆卸。

该设备的主要应用领域涵盖半导体晶圆加工、化学气相沉积 (CVD) 和先进陶瓷烧结，在这些领域中，温度均匀性和气氛控制至关重要。该系统为航空航天、储能和冶金等目标行业提供了一个强大的平台。无论是用于超长线材样品的退火还是进行区域熔炼，该炉都能提供从实验室规模实验过渡到中试工厂生产环境所需的稳定性和可扩展性。

该装置采用专业级组件和双层钢外壳制造，旨在严苛的工业研发环境中进行连续、重载运行。加热室与控制电子设备的分离确保了长期可靠性，并保护敏感组件免受热应力影响。对于优先考虑高通量处理、精密热分布以及在严苛工作周期下保持高真空或特定气体气氛的设施而言，该设备是首选。

主要特点

• 六个独立加热区：六个300毫米加热区中的每一个都由其专用的控制系统驱动，允许创建复杂的温度曲线，或在+/- 2ºC精度内实现1525毫米的超长恒温区。
• 精密PID温度控制：六个30段可编程数字控制器提供对加热速率、冷却速率和保温时间的精确管理，确保敏感冶金工艺的可重复结果。
• 超长加热室：该系统总加热长度为1800毫米（72英寸），可容纳长工艺管和大批量样品，与标准实验室炉相比，显著提高了生产能力。
• 开启式铰链设计：炉体沿长度方向分开并由气弹簧支撑，便于更换管材、快速冷却循环，并在不干扰内部气氛的情况下对管材设置进行目视检查。
• 高纯氧化铝绝缘材料：先进的纤维状氧化铝绝缘材料最大限度地减少了热量损失并降低了能耗，而带有冷却风扇的双层钢外壳在运行期间保持了安全的外壳接触温度。
• 先进的加热元件：系统采用掺钼的1300ºC级铁铬铝合金，确保了高达1200ºC的快速加热时间，并具有出色的抗氧化性，使用寿命更长。
• PC连接通讯接口：配备RS485通讯端口和专用控制软件，系统支持从PC进行远程监控和控制，便于数据记录和复杂的工艺自动化。
• 真空和气氛通用性：该设备包括带有针阀和压力表的高质量不锈钢真空法兰，支持在真空水平或受控气体环境（如氮气、氩气或成型气体）下进行处理。
• 集成安全保护：内置的安全防护措施包括过热报警、热电偶断路保护和超温切断机制，以保护设备和被处理材料。
• 可定制的管径：虽然随附4英寸外径的石英管，但其灵活的设计可容纳从1英寸到4英寸外径的各种工艺管，使炉子能够适应不断变化的研究需求。

应用领域

技术规格

为什么选择TU-49

• 卓越的热性能通用性：独特的六温区架构允许管式炉实现最复杂的热分布曲线，使研究人员能够获得单区或双区设备无法实现的结果。
• 工业级结构：该系统采用高密度氧化铝纤维和坚固的开启式外壳设计，旨在承受连续高温运行的严苛考验，且不影响结构完整性。
• 规模化精度：在1.5米的跨度内保持+/- 2ºC的均匀性，确保大尺寸样品或多晶圆批次获得相同的热处理，这是工业质量控制的关键因素。
• 面向未来的可扩展性：无论您是需要集成质量流量控制器、先进的真空泵，还是转向基于PC的自动化控制，该系统都旨在随您实验室的需求共同成长。
• 可靠的技术支持：在THERMUNITS深厚的高温系统专业知识支持下，每台设备都附带响应迅速的技术援助和高质量备件保证。

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