用于材料科学研究和专业热处理的高温双温区管式炉

管式炉

用于材料科学研究和专业热处理的高温双温区管式炉

货号: TU-GS02

最高工作温度: 1200 ℃ 控温精度: ± 1 ℃ 加热元件: 瑞典康泰尔 A1 进口电阻丝
品质保证 Fast Delivery Global Support
获取报价

运输: 联系我们 获取运输详情 享受 准时发货保证.

产品概述

产品图片 1

这款高性能热处理系统代表了双温区热处理技术的巅峰,专为材料科学研究和先进工业研发而设计。通过提供两个独立控制的加热区,该设备能够创建精确的温度梯度或扩展的均匀温场,使其成为复杂化学气相沉积(CVD)和物理气相传输工艺的重要工具。该系统的构建重点在于严苛实验室环境下的热稳定性和长期运行可靠性。

该设备设计灵活,支持多种气氛,包括真空、惰性气体和反应性环境。它广泛应用于半导体、航空航天和先进陶瓷行业,用于纳米材料合成、高纯粉末烧结和受控退火。该系统的价值在于其能够提供可重复的高精度热循环,这对于现代材料表征和开发至关重要。

得益于其稳健的工程设计和优质的组件选择,用户可以绝对放心地操作该设备。从日本研发的炉膛隔热材料到瑞典采购的加热元件,该设备的每一个方面都针对耐用性和性能进行了优化。集成的先进安全协议(包括自动断电隔离和漏电保护)确保了该炉在对精度和安全性要求极高的研究设施中始终是一项可靠的资产。

主要特点

  • 双温区独立控制: 该系统具有两个独立的加热区,每个加热区由其自己的智能PID控制器管理。这种架构允许研究人员建立特定的温度梯度,或与单温区配置相比维持显著更长的等温区。
  • 优质瑞典康泰尔(Kanthal)A1元件: 该炉采用原装康泰尔A1电阻丝,以其能够在不氧化或脱渣的情况下达到高温而闻名。与标准的铁铬铝合金相比,这确保了清洁的加工环境和显著更长的使用寿命。
  • 先进的热模拟设计: 加热元件的内部间距和节距通过日本热模拟软件进行了优化。这种重工程化的方法确保了温场完美平衡,防止了局部热点的产生,并确保了工艺管周围热量的均匀分布。
  • 高纯氧化铝多晶隔热材料: 炉膛采用真空吸滤成型的氧化铝纤维制成。这种高纯度材料具有极低的热质量,允许快速升温和降温,同时在峰值温度下保持卓越的能源效率和结构完整性。
  • RS485数字通信桥接: 该设备配备了标准通信接口和专用软件,支持通过PC进行全面远程控制。用户可以实时监控PV/SV值,记录温度数据以备存档,并存储复杂的加热曲线以供日后调用。
  • 全面的安全联锁: 为了增强操作员保护,该装置包括一个开盖保护系统,当炉门打开时会自动切断加热元件的电源。此外还集成了漏电保护器和空气开关,以防止电流浪涌。
  • 灵活的真空和气氛选项: 该系统可配置各种不锈钢真空法兰,包括铰链式、水冷式或KF25接口变体。这种灵活性使得在配合合适的分子泵系统时,真空度可达到10^-3 Pa。
  • 智能温度曲线编程: 标准智能控制器支持30个程序段,允许进行复杂的升温、保温和降温协议。它还具有断电保护功能,确保在电源中断后工艺能正确恢复。

应用领域

应用 描述 主要优势
CVD / PECVD 使用气相前驱体合成薄膜和碳纳米管。 精确的梯度控制,实现最佳前驱体沉积。
晶体生长 通过物理气相传输或布里奇曼(Bridgman)法生长单晶。 稳定的双温区温差,实现受控成核。
半导体退火 在受控气体中对硅片或化合物半导体进行热处理。 高均匀性确保了晶圆性能的批次一致性。
新材料烧结 先进陶瓷和金属基复合材料的高温固结。 瑞典康泰尔元件提供清洁环境,防止污染。
大气环境研究 测试材料在特定低氧或惰性气体环境中的降解情况。 高完整性真空法兰密封,实现可靠的气体管理。
催化剂测试 评估各种催化材料在高温下的效率。 实时数据记录,用于提取精确的动力学参数。

技术规格

参数 TU-GS02-60 TU-GS02-80 TU-GS02-100
最高温度 1200 ℃ 1200 ℃ 1200 ℃
连续额定温度 1100 ℃ 1100 ℃ 1100 ℃
功率输出 2.5 KW 2.5 KW 3.5 KW
工艺管尺寸 (OD) Φ 60 mm x 1300 mm Φ 80 mm x 1300 mm Φ 100 mm x 1300 mm
加热长度 420 mm (双温区) 420 mm (双温区) 420 mm (双温区)
加热元件类型 瑞典康泰尔 A1 瑞典康泰尔 A1 瑞典康泰尔 A1
热电偶类型 K 型 K 型 K 型
控制精度 ± 1 ℃ ± 1 ℃ ± 1 ℃
电源电压 220V 单相 220V 单相 220V 单相
升温速率 建议 ≤15℃/min 建议 ≤15℃/min 建议 ≤15℃/min
控制器类型 宇电 30段 PID 宇电 30段 PID 宇电 30段 PID
真空能力 可选 10^-3 Pa 至 10 Pa 可选 10^-3 Pa 至 10 Pa 可选 10^-3 Pa 至 10 Pa
炉膛隔热 氧化铝多晶纤维 氧化铝多晶纤维 氧化铝多晶纤维
外壳温度 ≤ 45 ℃ ≤ 45 ℃ ≤ 45 ℃
安全功能 开盖断电、漏电保护 开盖断电、漏电保护 开盖断电、漏电保护
通信接口 RS485 (标准) RS485 (标准) RS485 (标准)

为何选择此双温区系统

  • 卓越的热均匀性: 通过利用瑞典康泰尔A1元件和日本工程设计的隔热模式,该装置提供了比行业标准替代品更稳定、更可预测的温场。
  • 研发领域的可靠性验证: 专为长周期运行而设计,加热元件和高纯度炉膛材料经过专门挑选,以抵抗氧化和热冲击,减少维护停机时间。
  • 先进的数据管理: 集成RS485工业通信和实时软件,允许对每一个热循环进行完全可追溯,这对于审计追踪和可重复的研究结果至关重要。
  • 可扩展的真空性能: 无论您的工艺需要简单的机械泵还是高真空分子泵系统,该炉的模块化法兰设计均可定制,以满足特定的气氛要求。
  • 安全第一的工程设计: 集成的保护措施(包括UL认证的电路板选项和自动断电隔离)确保了研究人员和技术人员的安全工作环境。

立即联系 THERMUNITS,讨论您的具体热处理要求,或索取实验室设备的定制报价。

查看更多该产品的问题与解答

获取报价

我们的专业团队将在一个工作日内回复您。请随时与我们联系!

相关产品

用于材料科学与工业化学气相沉积研究的 1700°C 高温双温区管式炉

用于材料科学与工业化学气相沉积研究的 1700°C 高温双温区管式炉

这款 1700°C 高温双温区管式炉提供独立控制,可实现精确的热梯度,是先进材料研究中 CVD、PVD 和晶体生长的理想选择。它采用二硅化钼(MoSi2)加热元件,并集成坚固的真空密封氧化铝管,具备工业级的可靠性。

1500°C高温管式炉,带滑动法兰和50mm外径,适用于快速热处理,加热冷却迅速

1500°C高温管式炉,带滑动法兰和50mm外径,适用于快速热处理,加热冷却迅速

这款最高温度1500°C的管式炉配备手动滑动法兰,可实现加速加热和冷却,助您实现快速热处理。专为材料科学研究设计,这套高精度系统提供卓越的真空性能和双控制器监控,满足严苛的实验室应用需求。

双区管式炉1100℃,配11英寸石英管与真空法兰,用于8英寸晶圆加工

双区管式炉1100℃,配11英寸石英管与真空法兰,用于8英寸晶圆加工

这款先进的高温双区管式炉配置11英寸石英管和24英寸加热区,可提供出色的热均匀性,适用于工业和实验室领域的8英寸晶圆退火、材料烧结以及特种化学气相沉积研究。

1500°C高温双温区旋转管式炉,采用碳化硅加热技术,助力先进材料合成

1500°C高温双温区旋转管式炉,采用碳化硅加热技术,助力先进材料合成

这款高精度双温区旋转管式炉可优化热处理工艺。它具备1500°C最高温度和先进的碳化硅(SiC)加热元件,确保工业研发、化学气相沉积及全球实验室中复杂材料科学应用的一致性结果。

用于材料研究与工业热处理的高温加长双温区管式炉

用于材料研究与工业热处理的高温加长双温区管式炉

这款高性能加长双温区管式炉可助力您的材料研究。设备采用瑞典 Kanthal A1 发热元件及先进的 PID 控制技术,在 1200°C 以下可确保卓越的温度均匀性,非常适合现代工程领域中严苛的实验室及工业研发处理应用。

双温区快速加热管式炉 高温真空气氛系统

双温区快速加热管式炉 高温真空气氛系统

这款高性能双温区快速加热管式炉最高温度可达1200℃,升温速率高达每分钟100℃,配备精密PID控制及真空气氛功能,适用于先进材料研究、烧结及化学气相沉积应用。

1500°C 双温区开启式管式炉(带真空法兰及80mm氧化铝管)

1500°C 双温区开启式管式炉(带真空法兰及80mm氧化铝管)

高性能1500°C双温区开启式管式炉,配备80mm氧化铝管、碳化硅(SiC)加热元件及精密PID控制系统。适用于材料研发、化学气相沉积(CVD)以及在真空和多气氛环境下的热处理,是高端工业实验室研究的理想选择。

1200°C 双温区开启式管式炉,配熔融石英管及真空法兰,提供 60mm、80mm 和 100mm 直径可选

1200°C 双温区开启式管式炉,配熔融石英管及真空法兰,提供 60mm、80mm 和 100mm 直径可选

这款 1200°C 双温区开启式管式炉具备独立的温度控制功能,可实现精确的热梯度,助力材料研究。配备熔融石英管和真空密封法兰,是先进 CVD(化学气相沉积)和纳米材料合成的理想解决方案。

用于材料研究和 CVD 工艺的高温双温区真空管式炉

用于材料研究和 CVD 工艺的高温双温区真空管式炉

利用这款高精度双温区真空管式炉提升您的实验室能力。它专为先进材料研究和 CVD 工艺设计,具备独立温控、快速升温以及稳健的真空密封性能,可确保获得一致的工业级热处理结果。

用于高温CVD和真空退火的双温区双盖管式炉

用于高温CVD和真空退火的双温区双盖管式炉

专业的高温双温区管式炉,采用Kanthal A1加热元件和先进的PID控制系统,适用于科研及工业应用。该系统为CVD、真空退火和材料烧结提供精确的热处理,并具备卓越的可靠性。

1100°C 多位置管式炉,适用于实验室材料研究与先进工业热处理

1100°C 多位置管式炉,适用于实验室材料研究与先进工业热处理

这款多位置管式炉提供 1100°C 精密加热,具备垂直和水平放置的灵活性。专为先进材料研究设计,配备 30 段 PID 控制器和高纯度纤维绝缘材料,确保卓越的热稳定性和可靠的工业实验室性能。

1200°C 双温区紧凑型开启式管式炉(可选配 1" - 2" 石英管及真空法兰)

1200°C 双温区紧凑型开启式管式炉(可选配 1" - 2" 石英管及真空法兰)

这款 1200°C 双温区紧凑型开启式管式炉提供精确的温度梯度控制和真空处理能力。专为材料科学研发设计,配备独立 PID 控制器、不锈钢法兰和节能纤维绝缘层,确保实验室操作的一致性与高效表现。

双温区石英管式炉,管径80mm,最高温度1200℃,配3通道气体混合器与真空泵系统

双温区石英管式炉,管径80mm,最高温度1200℃,配3通道气体混合器与真空泵系统

这款先进的双温区石英管式炉配备80mm管径炉管、集成三通道气体混合装置与高性能真空系统,专为CVD实验与材料研究设计,可实现精确的1200℃热处理,具备耐腐蚀真空监测能力。

十区多取向实验室管式炉,用于1200℃高温梯度热处理

十区多取向实验室管式炉,用于1200℃高温梯度热处理

这款十区炉针对复杂热剖面分析优化,可在水平和垂直取向下实现精准1200℃控温。对于需要大尺寸温度梯度、并在1470mm加热长度系统上进行可靠气氛控制工艺的材料研发而言,是理想选择。

六温区开启式管式炉(带氧化铝管及真空法兰),适用于1500°C高温热处理及CVD工艺

六温区开启式管式炉(带氧化铝管及真空法兰),适用于1500°C高温热处理及CVD工艺

这款1500°C六温区开启式管式炉为专业实验室研究和高温CVD应用提供了卓越的热控性能。设备配备1800mm氧化铝管及精确的30段PID控制器,确保材料处理和退火结果的一致性。

带真空功能和PID控制的高温混合马弗炉与管式炉

带真空功能和PID控制的高温混合马弗炉与管式炉

这款1200°C混合马弗炉与管式炉为精密材料处理提供了多功能的二合一解决方案。它配备6x6x7英寸腔体及石英管选项,支持真空或大气环境下的研发工作,为高温实验室热处理设备提供了卓越的可靠性。

用于小型固体氧化物燃料电池测试的四通道气体控制高温立式管式炉

用于小型固体氧化物燃料电池测试的四通道气体控制高温立式管式炉

这款精密立式管式炉系统集成了四通道气体流量控制和双区加热功能,专为先进的固体氧化物燃料电池研究而设计,可提供精准的 1000°C 热处理和气氛控制,有效助力当今的创新材料开发表征及工业研发流程。

用于工业热处理和材料科学研究的加长型双温区管式炉

用于工业热处理和材料科学研究的加长型双温区管式炉

这款加长型双温区管式炉采用瑞典康泰尔(Kanthal)A1加热元件和先进的PID控制系统,可实现精确的材料研究。该设备提供真空和气氛选项,为严苛的工业实验室热处理应用提供卓越的温度均匀性和可靠性。

1100°C 双温区氢气管式炉(带石英管及集成式氢气泄漏检测系统)

1100°C 双温区氢气管式炉(带石英管及集成式氢气泄漏检测系统)

这款高性能双温区氢气管式炉集成霍尼韦尔(Honeywell)气体检测仪,确保在高达 1100°C 的热处理过程中的安全性。专为材料科学研发设计,提供精确的气氛控制,可选配 60mm 或 80mm 直径的石英管。

用于 DIY 管式反应器的 1100°C 立式实验室炉,配备 PID 温度控制器

用于 DIY 管式反应器的 1100°C 立式实验室炉,配备 PID 温度控制器

这款 1100°C 立式炉专为定制 DIY 管式反应器设计,配备先进的 PID 控制和 2 英寸直径容量,助您最大化研究效率。该高精度热系统可确保材料科学和工业研发获得稳定、可靠的结果。