产品概述


这款高性能立式气氛控制系统代表了精密热处理的巅峰,旨在满足现代材料科学的严苛要求。该设备采用独特的自动底部装料机构,为高温烧结、退火和熔炼操作提供了无缝接口。该装置在保持大气完整性方面表现出色,使研究人员能够在真空或特定气体环境下进行操作,并确保结果具有绝对的可重复性和热均匀性。通过将垂直方向与先进的电动升降系统相结合,该系统确保了样品在处理过程中受到最细致的呵护,最大限度地减少了装卸过程中的振动和热冲击。
该系统的核心价值在于其能够达到 1700°C 的极端温度,同时保持安全的水冷外部环境。它非常适合半导体晶圆加工、先进陶瓷开发和粉末冶金等对气氛控制有技术性要求的领域。目标行业包括航空航天工程、半导体制造和高纯度化学加工。坚固的结构和集成的冷却技术确保该装置可以在 1600°C 下连续运行,为任何工业研发实验室或小型生产设施提供可靠的支撑。
为实现长期运行的一致性,该设备采用了高纯度纤维氧化铝绝缘材料和优质二硅化钼 (MoSi2) 加热元件。这种组合实现了快速的热响应和卓越的能源效率。用户可以信赖其集成的安全协议(包括自动压力保护和实时监控),即使在复杂的多步热循环中也能保持安全的工作环境。该系统不仅仅是一台炉子,它是一套旨在突破材料创新界限的综合热处理解决方案。
主要特点
- 电动底部装料机构: 该装置配备了精密设计的电动机驱动装置,可实现底部法兰的自动升降。这种设计使得重型样品(最高 50 公斤)的装载变得轻而易举,并确保每次都能完美放置在热区的中心位置。
- 先进的 MoSi2 加热技术: 优质二硅化钼加热元件经过战略性布局,以提供卓越的热均匀性。这些元件因其在氧化环境中保持结构完整性并承受高达 1700°C 温度的能力而被特别选用。
- 双层水冷腔体: 炉体采用双层钢壳结构,内置水冷夹套。这种工程设计保护了真空密封的 O 型圈,并使外壳温度保持在操作人员的安全范围内,即使在长时间的高温循环中也是如此。
- 精密气氛控制: 该系统配备了高质量机械真空泵和双流量计,能够精确控制内部环境。用户可以实现 10⁻² torr 的真空度,或维持 100 至 115 KPa 之间的惰性气体恒定正压。
- Eurotherm PID 温度管理: 控制系统的核心是世界级的 Eurotherm 控制器,提供 24 个可编程段。这允许进行复杂的升温、保温和冷却曲线设置,精度高达 +/- 0.1°C,确保敏感材料获得高产出的结果。
- 高纯度氧化铝绝缘: 内部腔体衬有高纯度纤维氧化铝绝缘材料。这种低热质量材料确保了最大的节能效果、更快的加热速率(最高 10°C/min),并防止了烧结过程中高纯度样品的污染。
- 集成安全与保护系统: 设备包含内置的 PID 自动控制功能(带自动调谐)、过热保护和断偶检测。自动泄压阀也是标准配置,可防止气体辅助过程中的超压。
- 实时数据采集: 系统内置 RS485 通信端口,可与 PC 完全集成,用于远程监控、数据记录和复杂的程序管理,为关键研究过程提供数字审计追踪。
应用领域
| 应用 | 描述 | 主要优势 |
|---|---|---|
| 半导体晶圆退火 | 在受控真空或惰性气体下处理硅或化合物半导体晶圆,以修复晶格损伤。 | 增强晶圆表面的电学性能和结构一致性。 |
| 先进陶瓷烧结 | 在垂直配置下对氧化铝、氧化锆或碳化硅组件进行高温致密化处理。 | 由于垂直热对称性,减少了变形并实现了卓越的晶粒尺寸控制。 |
| 粉末冶金 | 在真空下将金属粉末固结成固体组件,以防止氧化和杂质。 | 高密度部件,具有优异的机械强度和纯净的化学成分。 |
| 航空航天材料测试 | 使先进合金和复合材料经受极端热应力环境,以模拟飞行条件。 | 在 1700°C 极端环境下为飞行关键部件提供可靠的性能数据。 |
| 玻璃熔炼与研究 | 在高纯度坩埚中进行特种玻璃配方的小规模熔炼,并进行精确的冷却控制。 | 最大限度地减少加热环境带来的污染,并实现精确的折射率管理。 |
| 钎焊与连接 | 在无氧气氛中使用高温填充金属连接异种材料。 | 坚固、无氧化的接头,具有高结构完整性和整洁的外观。 |
技术规格
| 参数组 | 规格详情 | 值 / 要求 (型号: TU-DZ21) |
|---|---|---|
| 温度额定值 | 最高工作温度 | 1700°C (< 1 小时) |
| 连续工作温度 | 800°C - 1600°C | |
| 温度精度 | +/- 0.1 ºC | |
| 温度均匀性 | +/- 0.5°C | |
| 建议加热速率 | ≤ 10°C/min | |
| 腔体结构 | 加热腔尺寸 | 直径 280 mm x 高度 300 mm |
| 有效容积 | 18 升 | |
| 腔体材料 | 水冷不锈钢,带纤维氧化铝绝缘层 | |
| 装料机构 | 电动机驱动底部装料 | |
| 最大负载能力 | 50 公斤 | |
| 气氛与真空 | 真空度 | 10⁻² Torr (通过随附的机械泵) |
| 压力控制范围 | 100 - 115 KPa (恒压控制) | |
| 气体流量管理 | 前面板集成两个流量计 | |
| 安全功能 | 内置自动泄压阀 | |
| 控制系统 | 温度控制器 | Eurotherm (PID, 1 个程序, 24 个段) |
| 接口 | 触摸屏控制面板 | |
| 热电偶 | B 型 | |
| 计算机连接 | RS485 端口 (支持 PC 控制) | |
| 电源与公用设施 | 电压要求 | 单相 220 VAC, 50/60Hz |
| 最大功耗 | 13 KW (需 20 A 断路器) | |
| 水冷系统 | 16L/min 循环水冷机 (随附) | |
| 合规性 | 标准 | CE 认证 (可提供 NRTL/CSA) |
为何选择这款高温立式炉
- 无与伦比的热精度: Eurotherm 控制逻辑与 MoSi2 加热元件的结合,确保您的材料以最高精度进行处理,这对可重复的研发结果至关重要。
- 工业级可靠性: 专为严苛环境下的 24/7 全天候运行而设计,水冷不锈钢真空腔体在多年的高强度使用中保持了结构完整性和真空性能。
- 卓越的样品存取: 电动底部装料设计不仅是为了方便,更是一项安全和质量特性,它允许精确的样品定位,并降低了加热元件受到热冲击的风险。
- 完整的即用型解决方案: 与需要单独采购外围设备的系统不同,该装置包含真空泵和高容量循环水冷机,确保到货后即可立即投入使用。
- 可扩展且可定制: 凭借内置的 PC 控制功能和 50 公斤的强大负载能力,该系统架起了实验室规模实验与中试规模生产之间的桥梁。
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