1700°C 高温立式气氛控制炉 自动底部装料 13升真空热处理系统

气氛炉

1700°C 高温立式气氛控制炉 自动底部装料 13升真空热处理系统

货号: TU-QF10

最高温度: 1700°C 腔体尺寸: 直径 280 mm x 高 300 mm (18L) 真空能力: 10-2 托
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产品概述

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这款高温立式气氛控制系统代表了材料科学及工业研发领域热工程的巅峰。该设备采用独特的立式结构,旨在促进复杂的烧结和退火工艺,最大限度地提高了温度均匀性和操作人体工程学。通过集成先进的底部装料机制,该系统能够安全稳定地处理精密样品,确保材料在整个加热和冷却循环中保持完整性。无论是在高真空还是受控惰性气体环境下运行,该装置都能提供最严苛技术应用所需的精度。

该炉专为半导体制造、航空航天冶金和陶瓷工程等先进领域打造,为高风险研发提供了一个多功能平台。设备设计用于处理高达 1600°C 的连续温度,并具备在专门的短期工艺中达到 1700°C 的能力。高纯度纤维氧化铝绝缘材料和水冷不锈钢法兰的集成,确保了系统在最大限度提高能源效率的同时,保护关键的真空密封件。这种动力与保护的平衡,使其成为需要可重复、高精度热数据的实验室不可或缺的工具。

可靠性是该热处理装置的核心基础。系统采用重型双层钢外壳和优质二硅化钼 (MoSi2) 加热元件,专为长期工业服务而设计。从 Eurotherm 温度控制器到循环水冷机,每一个组件都经过精心挑选,以提供无缝、集成的用户体验。买家可以放心购买,因为该设备有严谨的工程标准作为后盾,其设计理念在极端温度环境下始终优先考虑安全性和性能。

主要特点

  • 自动底部装料机制: 电机驱动的底部法兰允许平稳、无振动地装载重达 50 公斤的样品,最大限度地降低了对易碎样本造成机械损坏的风险,并改善了高通量测试过程中的用户人体工程学体验。
  • 卓越的隔热性能: 利用高纯度纤维氧化铝绝缘材料,该系统实现了最大的节能效果和快速的热响应时间,同时保持较低的外壳温度以确保操作员安全。
  • 精密 MoSi2 加热元件: 设备配备优质二硅化钼元件,确保在高达 1700°C 的温度下加热稳定且均匀,为高温循环提供了必要的寿命和抗氧化性。
  • 先进的气氛控制: 该炉具有真空密封的不锈钢腔体,能够达到 10^-2 torr 的真空度,支持在真空或受控惰性气体气氛下进行工艺处理,并可在 100 至 115 KPa 之间进行自动压力调节。
  • Eurotherm PID 温度调节: 行业标准的 Eurotherm 控制器提供 24 段程序编程,精度达 +/- 0.1°C,允许针对特定材料要求进行复杂的升温、冷却和保温步骤。
  • 集成水冷系统: 腔体外部和法兰上内置水冷套,并配有 16L/min 的循环水冷机,可保护 O 型圈并确保即使在长时间高温运行下也能保持真空完整性。
  • 实时触摸屏界面: 直观的触摸面板可对温度曲线和惰性气体压力进行集中控制,简化了复杂热处理配方的管理,减少了手动操作失误的可能性。
  • 增强的安全协议: 功能包括内置自动压力保护、安全泄压阀以及过热/断偶保护,以保障设备和实验室环境的安全。
  • 强大的真空性能: 系统标配高质量机械真空泵,能够快速抽空腔体,为敏感的半导体晶圆处理提供洁净、无污染的气氛。
  • PC 连接与数据记录: 集成了 RS485 接口,可实现无缝 PC 操作,使研究人员能够远程监控、记录和分析热数据,从而进行全面的质量控制和文档记录。

应用领域

应用 描述 主要优势
半导体退火 在受控惰性气氛或真空中对硅和化合物晶圆进行高温处理。 防止氧化并确保晶格完美。
技术陶瓷烧结 在高达 1700°C 的温度下对氧化锆和氧化铝等先进陶瓷组件进行致密化处理。 实现高密度和卓越的机械性能。
粉末冶金 金属粉末的真空烧结,用于制造航空航天用高纯度、复杂几何形状的组件。 消除杂质并提高材料抗拉强度。
晶体生长 为单晶和光学材料的合成提供受控热环境。 高温度均匀性 (+/- 0.5°C),确保生长一致。
航空航天研发 对涡轮叶片和结构件中使用的超合金进行应力消除和热处理。 精确的升温速率可防止热冲击和变形。
核燃料研究 在严格的气氛控制下对颗粒燃料材料进行热分析和烧结。 可靠的密封性和精确的气氛调节。
电子元件老化 在特殊气体和高温环境下对大功率电子设备进行加速寿命测试。 精确模拟极端运行环境。
材料碳化 将碳基前驱体加工成先进复合材料和碳纤维。 18L 腔体空间内热分布均匀。

技术规格

参数 TU-QF10 规格详情
型号 TU-QF10
最高温度 1700°C(持续时间 < 1 小时)
连续工作温度 800°C - 1600°C
加热速率 建议 ≤ 10°C/min
温度均匀性 +/- 0.5°C
温度精度 +/- 0.1 ºC
腔体尺寸 直径 280 mm x 高度 300 mm
腔体容量 18 升(约 11 英寸内径)
加热元件 二硅化钼 (MoSi2)
热电偶 B 型
真空度 10^-2 torr(通过标配机械泵)
压力控制范围 100 - 115 KPa(恒压控制)
底部装料容量 最大负载 50 Kg
冷却系统 标配 16L/min 循环水冷机
电源 单相 220 VAC, 50/60Hz
最大功耗 13 KW
所需断路器 20 A
温度控制器 Eurotherm(1 条程序,24 段)
安全功能 过热、断偶及泄压保护
通讯接口 RS485(用于 PC 连接)
合规性 CE 认证(可提供 NRTL/CSA)

为何选择 TU-QF10

  • 工业级可靠性: 该系统采用双层钢外壳和优质 MoSi2 元件设计,确保其能够经受连续工业和研究使用的严苛考验,且性能不会下降。
  • 无与伦比的精度: 凭借 Eurotherm 控制器和 B 型热电偶,该设备提供了敏感材料转化和可重复科学结果所需的精确温度准确性和均匀性。
  • 集成的安全与人体工程学: 自动底部装料设计不仅是为了方便,更是一项关键的安全功能,可保护操作员免受热暴露,并确保重型或易碎负载的稳定移动。
  • 完整的即用型套件: 与许多竞争对手不同,该系统配备了必要的真空泵和循环水冷机,无需单独采购,确保了即刻的兼容性。
  • 灵活的定制: THERMUNITS 为该平台提供广泛的定制选项,包括气体混合系统、专用软件集成以及 NRTL/CSA 认证,以满足特定的实验室标准。

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