1200℃气氛控制全自动 bottom 升降式炉，6英寸石英管双温区系统

产品概述

这款高性能热处理系统是自动化实验室设备的巅峰之作，专为先进材料科学与工业研发应用设计。设备结合最高1200℃工作温度与成熟的底部升降进料机制，为复杂热处理提供稳定、可重复的工艺环境。集成大直径6英寸熔融石英管，可在处理大体积样品或高通量批次的同时，维持最高纯度标准与气氛控制精度。该设备专为不牺牲产能需求、要求精度的研究者设计，可在真空与可控气氛环境下提供通用实验平台。

本系统面向半导体制造、航空航天材料测试、先进陶瓷等领域，可支撑烧结、退火、化学气相沉积等关键工艺。其立式结构与自动载物台可最大程度降低样品污染与热冲击风险，确保对脆弱衬底的精细处理。坚固结构可承受连续运行的严苛考验，在高端实验室场景下仍能提供工业级可靠性。无论是用于单独实验还是集成到大型自动化生产线，该系统都能输出一致、高保真的结果，满足现代工程的严格要求。

这款设备的精密工程部件与自主能力为您带来可靠保障。系统支持全天不间断运行，采用高品质FeCrAlMo加热元件与先进PID控温维持热均匀性。通过减少人工干预需求，设备提升了安全性与效率，让实验室人员可专注于数据分析而非硬件操作。该设备不仅是一款马弗炉，更是综合性热处理解决方案，旨在加快材料开发与工业工艺优化的创新步伐。

核心特点

• 全自动底部升降进料机构：精密电机驱动载台可将样品平稳、无振动地送入加热区。这种立式进料结构非常适合维持热对称性，在不干扰内部气氛的前提下，简化大尺寸、重量坩埚的操作。
• 双温区温度控制：两个独立加热区总长350mm，可灵活构建特定温度梯度，或是在120mm宽范围内维持±2℃的超均匀恒温区，性能远超同类产品。
• 集成气氛管理系统：配备1-1000 sccm质量流量控制器（MFC）与不锈钢水冷法兰，可实现精准气体输送与压力调节，轻松适配惰性、氧化或还原气氛。
• 高纯熔融石英腔：外径150mm石英管提供化学惰性环境，抗热冲击且支持过程可视化监测。对于跟踪热循环过程中材料物理变化的研究者而言，高透光性至关重要。
• 支持自主运行：系统完全兼容PC集成与机械臂控制，可实现全天不间断自主运行，支持高通量筛选与长期稳定性测试，无需持续人工值守。
• 先进触屏操作界面：友好操作面板集成所有工艺参数，包括升降温速率与保温时长。操作人员可编写50段程序，一键执行复杂热处理方案。
• 优异真空性能：采用高品质密封法兰，支持分子泵升级可选，系统极限真空可达10⁻⁵ Torr，适用于对水分、氧气敏感的工艺。
• 完善冷却系统：标配16L/min循环冷水机，保护硅橡胶O型圈，维持密封法兰完整性，即使在持续高温运行中也能保证真空密封的长期耐用性。
• 氢气安全升级：针对特殊冶金需求，设备可升级自动氢气燃烧器、检漏仪与供气装置，改造为高安全性可用氢气的炉体。

应用领域

技术参数

为什么选择我们

• 无与伦比的精度与稳定性：系统双温区加热结构可确保样品获得可重复材料特性所需的精准热分布，搭配高精度K型传感器与PID逻辑提供保障。
• 可扩展自动化：为未来实验室工作设计，本设备可无缝从手动研究过渡到全自动机器人辅助操作，显著提升实验室产出与投资回报率。
• 坚固结构适配工业使用：从水冷SS304法兰到重载石英腔，每个部件都经过筛选，可承受持续热循环与苛刻化学环境。
• 灵活的气氛管理：无论您的工艺需要高真空、惰性气体吹扫还是反应性氢气气氛，该设备都可通过模块化设计与安全功能，在单一平台满足多样化实验需求。
• 完善的支持与定制服务：THERMUNITS拥有深厚技术积累，可定制样品载台、坩埚与供气系统，确保设备到货后即可直接融入您的特定 workflow。

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