1600°C 冷壁高真空腔体炉,配备钼加热器与400mm立方体工作区

真空炉

1600°C 冷壁高真空腔体炉,配备钼加热器与400mm立方体工作区

货号: TU-ZK04

最高温度: 1600°C 极限真空度: <1e-6 Torr 加热区容积: 64 升 (400x400x400mm)
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产品概述

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这款高性能热处理系统专为要求最苛刻、对无污染超洁净环境至关重要的研究和工业应用而设计。通过采用水冷冷壁设计,即使内部热区持续达到高达1600°C的温度,设备外部仍能保持低温。该系统专门针对中小型样品的高真空热处理进行了优化,为对氧化或间隙污染敏感的材料提供了理想平台。其坚固的结构确保了整个热循环过程中真空度的完整性,使其成为先进材料科学和高端制造不可或缺的工具。

该设备主要应用于冶金、半导体开发和先进陶瓷领域,是脱气、真空钎焊和烧结等工艺的多功能主力设备。64升的大有效加热容积为复杂几何形状或特殊部件的批量处理提供了充足空间。无论是在企业研发实验室还是专业工业生产线中使用,该系统都能为高熵硅化物开发及其他复杂材料合成方案提供所需的精度。其设计专注于热功率与真空稳定性之间的关键平衡,确保每个循环都满足高科技行业的严格要求。

该系统采用优质工业级组件制造,在连续运行条件下提供无与伦比的可靠性和性能。电抛光304不锈钢真空室与全金属热区的结合,确保了不会因绝缘纤维而产生放气,这对于维持低于1e-6托的极限真空至关重要。B2B买家可以信赖该设备的一致性重复性,水冷夹套的结构完整性和全金属热反射护套的精度将保护系统及周围环境,同时为复杂的相变提供必要的热均匀性。

主要特点

  • 冷壁真空技术: 腔体由电抛光304不锈钢制成,配有专用水冷夹套,确保内部温度达到极端水平时,外部仍可安全触摸且尺寸稳定。
  • 全金属隔热层: 采用6层金属反射护套系统而非陶瓷纤维隔热层,消除了纤维污染风险,并显著减少放气,这对于实现和维持超高真空度至关重要。
  • 先进钼加热元件: 加热系统采用专为真空环境设计的高纯度钼线圈。这些元件在高达1600°C的温度下提供快速的热响应和长期耐用性。
  • 超高真空性能: 配备标准DN100CF接口,兼容大容量涡轮分子泵,系统可实现优于1e-6托的极限真空度,为敏感材料提供纯净氛围。
  • 精密Eurotherm控制: 系统集成Eurotherm EPC 3000系列控制器,提供28段可编程曲线和PID自动控制回路,实现±1°C的卓越温度精度。
  • 多气体氛围灵活性: 在优化真空性能的同时,该炉体完全兼容惰性和还原性气体,如氩气(Ar)、氮气(N2)和氢气(H2),允许在单一系统内进行多样化的气氛处理。
  • 优化的热均匀性: 内部钼样品台和精心布置的加热线圈实现了±8°C的温度均匀性,确保大批量负载或复杂部件受热均匀。
  • 坚固的负载锁定门: 水冷前门具有高完整性密封和特殊冷却功能,可防止O型圈老化,确保数百个循环后仍能可靠密封真空。

应用领域

应用 描述 主要优势
高熵硅化物 在1600°C下对先进硅化物化合物进行相变和均质化。 防止氧化分解,确保单相四方结构。
难熔金属烧结 将钼、钨或铌粉末固结成致密部件。 实现高密度,无大气污染或氧化。
真空钎焊 在无焊剂环境中使用高温填充金属连接特殊金属部件。 产生清洁、无氧化物的接头,具有优异的机械强度。
应力消除 对3D打印或机加工部件进行后处理以消除内应力。 防止开裂和翘曲,同时保持表面光洁度完整性。
半导体退火 对晶圆或衬底材料进行高温处理以修复晶体缺陷。 提供超洁净环境,防止掺杂剂迁移或污染。
陶瓷共烧 烧结需要精确控制真空度的先进技术陶瓷。 通过防止大气反应,保持材料的化学计量比。
扩散连接 在热和真空条件下通过固态扩散连接相似或不同材料。 无需额外粘合剂或填料即可形成无缝、高强度的结合。

技术规格

特性 规格详情 (型号: TU-QF17)
电源 460 VAC,三相,50/60Hz
总功率 100 kW
有效加热区 长 400 x 宽 400 x 深 400 mm (64 升)
最高工作温度 1600°C
温度精度 ±1°C
温度均匀性 ±8°C
最大加热速率 <10°C/分钟
真空腔体材料 电抛光水冷不锈钢304
热绝缘 6层全金属热反射护套
加热元件 钼加热线圈
样品台 钼结构
极限真空度 <1.0e-6 托 (使用300L/s涡轮泵)
最大工作压力 <1.5 bar
温度控制器 Eurotherm EPC 3000系列 (PID,28段)
热电偶类型 B型
通信接口 RS485,MODBUS RTU,用于远程监控
真空接口 DN100CF (主泵),DN40KF (电离规),DN16KF (对流规)
气体进出口 两个1/4"波纹管密封针阀 (VCR)
标准符合性 CE认证 (可按要求提供NRTL/CSA认证)
可选真空计 InstruTech IGM402 热阴极电离规 & 对流规
可选水冷机 3.5KW冷却能力,40L水箱,75L/分钟流量
可选泵选项 260L/s涡轮分子泵,干式涡旋或旋片式前级泵

为何选择我们

  • 卓越的真空完整性: 我们的全金属热区和电抛光腔体表面旨在最大限度地减少放气,使您的工艺比传统的陶瓷衬里系统更快、更可靠地达到超高真空水平。
  • 精密工程: 通过采用Eurotherm EPC 3000系列控制器和B型热电偶,该设备为敏感的材料科学研究提供了所需的确切热控制,确保每批次结果的可重复性。
  • 工业级耐用性: 水冷不锈钢和高纯度钼的结合,确保了炉体结构完整性可维持多年,即使在最高额定温度1600°C下运行也是如此。
  • 可扩展和可定制: 从真空泵的选择(涡轮分子泵与干式涡旋泵)到大容量水冷机的加装,该系统可根据特定的实验室或工业产能要求进行定制。
  • 全面合规: 每台设备均通过CE认证,并可升级至NRTL或CSA标准,为采购团队提供信心,确保设备符合国际安全和质量基准。

我们的技术团队随时准备协助您根据具体的应用需求配置理想的热处理解决方案。立即联系我们,获取详细的技术咨询或索取正式报价。

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