管式炉

1100°C 高温真空坩埚炉，带石英腔体，用于热处理和烧结

1100°C 高温真空坩埚炉，带石英腔体，用于热处理和烧结

TU-C05

单温区管式炉 5英寸石英管 36英寸加热区真空法兰

单温区管式炉 5英寸石英管 36英寸加热区真空法兰

TU-31

用于甲烷重整和费托反应的1200℃三温区立式固定流化床炉

用于甲烷重整和费托反应的1200℃三温区立式固定流化床炉

TU-C15

1200℃对开式立式管式炉，配备石英管与不锈钢真空法兰，适用于快速热处理

1200℃对开式立式管式炉，配备石英管与不锈钢真空法兰，适用于快速热处理

TU-C14

四温区1200℃多温区可拆分管式炉，配备独立数字温控器，适用于1英寸或2英寸工艺管

四温区1200℃多温区可拆分管式炉，配备独立数字温控器，适用于1英寸或2英寸工艺管

TU-44

十区多取向实验室管式炉，用于1200℃高温梯度热处理

十区多取向实验室管式炉，用于1200℃高温梯度热处理

TU-53

用于高温热解反应器和材料科学研究的气体预热管式炉

用于高温热解反应器和材料科学研究的气体预热管式炉

TU-27

高温1700℃四通道管式炉 1英寸氧化铝管高通量退火专用

高温1700℃四通道管式炉 1英寸氧化铝管高通量退火专用

TU-R01

双区管式炉1100℃，配11英寸石英管与真空法兰，用于8英寸晶圆加工

双区管式炉1100℃，配11英寸石英管与真空法兰，用于8英寸晶圆加工

TU-32

三温区管式炉，配备11英寸或15英寸石英管与铰链法兰，用于真空气氛热处理

三温区管式炉，配备11英寸或15英寸石英管与铰链法兰，用于真空气氛热处理

TU-40

用于材料研究和 CVD 工艺的高温双温区真空管式炉

用于材料研究和 CVD 工艺的高温双温区真空管式炉

TU-GS03

大型立式三温区管式炉，配备8英寸或11英寸石英管及高真空法兰，最高温度1200°C

大型立式三温区管式炉，配备8英寸或11英寸石英管及高真空法兰，最高温度1200°C

TU-C16

双温区石英管式炉，管径80mm，最高温度1200℃，配3通道气体混合器与真空泵系统

双温区石英管式炉，管径80mm，最高温度1200℃，配3通道气体混合器与真空泵系统

TU-42

1200°C 三温区可开启式管式炉，带18英寸加热长度和真空法兰

1200°C 三温区可开启式管式炉，带18英寸加热长度和真空法兰

TU-33

1100°C 分体式立式管式炉，配备80mm石英管及不锈钢真空法兰

1100°C 分体式立式管式炉，配备80mm石英管及不锈钢真空法兰

TU-C06

1200℃四温区可开启式管式炉，配备触摸屏控制、高纯度石英管及真空密封法兰

1200℃四温区可开启式管式炉，配备触摸屏控制、高纯度石英管及真空密封法兰

TU-45

1750°C 高温台式真空气氛管式炉，配备 Kanthal Super 1800 加热元件及 60mm 氧化铝工艺管

1750°C 高温台式真空气氛管式炉，配备 Kanthal Super 1800 加热元件及 60mm 氧化铝工艺管

TU-78

十二温区1700°C多温区分体式管式炉，配备100mm氧化铝处理管及独立温度梯度控制

十二温区1700°C多温区分体式管式炉，配备100mm氧化铝处理管及独立温度梯度控制

TU-82

用于材料科学和工业热处理的实验室倾斜式回转管式炉

用于材料科学和工业热处理的实验室倾斜式回转管式炉

TU-07

底装式真空炉 1200°C 快速冷却气氛控制石英腔体

底装式真空炉 1200°C 快速冷却气氛控制石英腔体

TU-C31

1200°C 双温区紧凑型开启式管式炉（可选配 1" - 2" 石英管及真空法兰）

1200°C 双温区紧凑型开启式管式炉（可选配 1" - 2" 石英管及真空法兰）

TU-29

1700°C高温管式炉，配4英寸外径氧化铝管及真空密封法兰

1700°C高温管式炉，配4英寸外径氧化铝管及真空密封法兰

TU-73

1700℃高温淬火管式炉，配60mm氧化铝管与自动电磁铁释放系统

1700℃高温淬火管式炉，配60mm氧化铝管与自动电磁铁释放系统

TU-C22

24英寸加热长度三温区管式炉（带铰链式法兰石英管系统）

24英寸加热长度三温区管式炉（带铰链式法兰石英管系统）

TU-35

带触摸屏控制器和多种石英管选项的五温区 1200°C 高温分体式管式炉

带触摸屏控制器和多种石英管选项的五温区 1200°C 高温分体式管式炉

TU-48

用于材料淬火和单晶生长的高温1700°C立式开启式管式炉

用于材料淬火和单晶生长的高温1700°C立式开启式管式炉

TU-C20

高温1500°C三温区开启式管式炉（配80mm刚玉管及真空法兰）

高温1500°C三温区开启式管式炉（配80mm刚玉管及真空法兰）

TU-65

1100°C 八温区高压高温合金管式炉（集成高压气体控制系统）

1100°C 八温区高压高温合金管式炉（集成高压气体控制系统）

TU-52

1500°C 五温区开启式管式炉（配84mm莫来石管及真空法兰）

1500°C 五温区开启式管式炉（配84mm莫来石管及真空法兰）

TU-66

四区管式炉 1100C，带 600mm 大直径石英管和真空法兰

四区管式炉 1100C，带 600mm 大直径石英管和真空法兰

TU-47

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